Уменьшение выбросов углерода с помощью точного инфракрасного нагрева
В производстве полупроводников температура — это не просто параметр, а ключевой фактор. Даже незначительное отклонение может привести к тому, что весь выпуск продукции будет бесполезен.
Мы обнаружили, что использование коротковолнового инфракрасного излучения — лучший способ достижения нужной температуры. Почему? Потому что такой метод не приводит к нагреву воздуха вокруг пластины. Энергия направляется непосредственно в сам материал. Именно это позволяет снизить расход энергии и уменьшить объем выбросов углерода.
Секрет заключается в интенсивности излучения.
Высокомощные инфракрасные лампы позволяют достичь нужной температуры за секунды, а не минуты. Это значит, что нет необходимости тратить время и энергию на ожидание, пока оборудование нагреется. Мы настраиваем системы так, чтобы излучение имело определенную длину волны, которую кремний способен поглощать. Энергия поступает туда, где ей нужно, а не в стены камеры.
Однако у этого метода есть свои недостатки.
Чтобы предотвратить рассеивание тепла, мы используем кварцевые конструкции и высокоточные отражатели для сосредоточения излучения. Этот метод работает отлично, но требует больших усилий от ламп. Если напряжение меняется хотя бы немного, лампы могут сломаться гораздо раньше, чем следует. Чтобы оборудование работало стабильно, необходим стабильный источник питания.
Как это помогает достичь цели «Зеленый завод»
Переход с традиционного резистивного нагрева на точный инфракрасный нагрев — это огромный шаг в пользу планеты. Теперь можно отказаться от объемных конвекционных печей, которые тратят половину времени на нагрев воздуха. Все происходит быстрее: сокращаются времена обработки, уменьшаются расходы на электроэнергию, а система охлаждения не должна работать так интенсивно.
Это настоящий взаимовыгодный вариант: вы достигаете целей по снижению выбросов углерода, при этом не приходится замедлять производство.