Na powierzchni płytki po procesie CMP nadal występują ślady wody oraz osady cząstek, co negatywnie wpływa na jakość produktu. Najczęściej winowajcą jest niestabilny profil termiczny podczas suszenia. Nasz grzejnik do suszenia płytek po procesie CMP został zaprojektowany tak, aby eliminować te wahania – a nie je dodawać.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia
Używamy elementów emitujących krótkofalowe promieniowanie podczerwone za szybą z kwarcu, dzięki czemu energia dociera bezpośrednio i szybko do płytki – bez przekroczenia granic substratu. W całej strefie aktywnej utrzymujemy jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C, a powtarzalność procesu jest zagwarantowana dzięki kalibrowanemu systemowi sterowania, który w czasie rzeczywistym monitoruje aktualną temperaturę w stosunku do ustalonego wartości referencyjnej. Urządzenie nadaje się do pracy w salach czystości klasy 1–100. Materiały i uszczelki zostały wybrane tak, aby uniknąć powstawania cząstek, gdy proces jest już w stabilnym stanie.
Dlaczego to działa przy suszeniu po procesie CMP
Zadanie jest proste: należy usunąć warstwę płynu oczyszczającego w sposób czysty i szybki, bez pozostawiania żadnych resztek. Precyzyjna kontrola termiczna sprawia, że napięcie powierzchniowe pozostaje stałe, co bezpośrednio redukuje liczbę defektów.
Ta sama stabilność ma wpływ również na jakość fotorezystu. Profile suszenia pozostają konsekwentne, więc nie występują żadne problemy z rozmiarami lub chropowatością brzegów linii. Grzejnik może pracować 24/7 bez przerw, co zapewnia stałą wydajność i przewidywalność konserwacji.
Co należy wiedzieć z góry
Instalacja polega na dostosowaniu geometrii pomieszczenia oraz prawidłowym ustawieniu interfejsów chłodzenia i wydechowego. Dostarczamy szkice interfejsów, ale nadal konieczne jest dokonanie weryfikacji na miejscu.
Należy planować krótki okres rozgrzewania przed rozpoczęciem pierwszej partii produkcji. To jest cena, jaką trzeba zapłacić za pożądaną powtarzalność. Gdy wszystko jest już skonfigurowane, urządzenie utrzymuje kontrolę nad stanem termicznym, zachowując tym samym integralność procesu.