Na linii produkcyjnej urządzenie do płukania i suszenia znajduje się dokładnie pomiędzy etapem czyszczenia a etapem litografii. Nawet niewielka różnica temperatury wynosząca 0,5°C może spowodować powstanie „znaków wodnych” na płytkach – albo co gorsza, doprowadzić do roztopienia fotorezystu po procesie wysokotemperaturowego suszenia. Nasz grzałka kwarcowa została zaprojektowana specjalnie dla tej strefy, gdzie kluczowe są szybkość reakcji termicznej, poziom czystości oraz powtarzalność procesu.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia?
Jądrzem urządzenia jest emiter promieniowania podczerwonego o krótkich falach, który zapewnia szybką reakcję termiczną i precyzyjną kontrolę temperatury. Celujemy w taką jednorodność temperatury na całej powierzchni płytki, aby wynosiła ±0,1°C. Temperatura może być ustalana w zakresie od 50°C do 250°C, a czas reakcji jest krótszy niż 2 sekundy. System sterowania typu zamkniętego obwodu sprawia, że temperatura pozostaje stabilna, dzięki czemu delikatne struktury nie zostają uszkodzone po procesach chemicznych i mechanicznych. Korpus grzejnika jest wykonany z kwarcu wyjątkowo wysokiej czystości, kompatybilnego z warunkami panującymi w pomieszczeniach klasy 1–100. Powierzchnia grzejnika jest tak skonstruowana, aby minimalizować powstawanie cząstek, a urządzenie może pracować 24/7 bez konieczności kalibracji.
Dlaczego ten grzałka nadaje się do urządzeń do płukania i suszenia?
W takich urządzeniach potrzebna jest szybka i stała temperatura – taka, która pozwoli usunąć wodę bez uszkodzenia struktur na płytkach ani fotorezystu. Ten grzałka zapewnia stałą temperaturę, dzięki czemu proces może być powtarzany raz za razem, od etapu łagodnego suszenia po etap intensywnego suszenia. Dzięki temu czas realizacji procesu się skraca, zmniejsza się ilość odpadków, a zużycie energii jest niższe dzięki efektywnemu oddawaniu ciepła i małej masie cieplnej urządzenia.
Uwagi praktyczne
Instalacja polega głównie na prawidłowej orientacji i zachowaniu odpowiedniej odległości pomiędzy poszczególnymi elementami urządzenia. Obudowa z kwarcu jest odporna, ale może ulec uszkodzeniu przy silnych wstrząsach mechanicznych. Należy dostosować napięcie i konektor do specyfikacji urządzenia, a w przypadku pracy w środowisku o wysokim poziomie zakłóceń elektromagnetycznych konieczne jest zastosowanie izolacji. Przy prawidłowej instalacji i ostrożnym obchodzeniu się z urządzeniem można liczyć na ponad 5 000 godzin pracy z zużyciem mniejszym niż 5%.