Pemanasan menggunakan sinar inframerah berbanding udara panas: Yang mana satu lebih sesuai untuk wafer anda?
Jika anda beralih daripada penggunaan udara panas kepada pemanasan menggunakan sinar inframerah, anda sebenarnya sedang mengubah cara tenaga disalurkan ke permukaan bahan yang diproses.
Fikirkan tentang penggunaan udara panas sebentar. Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, dan kemudian udara tersebut akan memanaskan permukaan bahan yang diproses. Proses ini memerlukan masa yang lama. Sebaliknya, sinar inframerah merupakan radiasi elektromagnetik yang sampai terus ke permukaan bahan tersebut tanpa perlu melalui medium lain.
Masa sangat penting dalam proses pemprosesan semikonduktor
Dalam proses pemprosesan semikonduktor, masa merupakan faktor yang sangat penting. Dengan penggunaan udara panas, anda perlu menunggu untuk memastikan suhu di dalam bilik pemprosesan mencapai tahap yang diinginkan. Ini sangat menjengkelkan. Namun, dengan sinar inframerah, suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam masa beberapa saat sahaja.
Anda akan merasai perbezaannya semasa proses pengeringan atau penyembuhan bahan tersebut. Dengan penggunaan sinar inframerah, anda tidak perlu menunggu lama untuk mencapai suhu yang diinginkan. Ini bermakna anda boleh memproses lebih banyak wafer setiap syifnya.
Pemanasan yang tepat di tempat yang diperlukan
Kita semua pernah menghadapi masalah akibat perbezaan suhu yang disebabkan oleh penggunaan udara panas. Ini menyebabkan adanya kawasan yang panas dan kawasan yang sejuk. Sinar inframerah pula membolehkan anda memanaskan kawasan tertentu sahaja pada permukaan bahan yang diproses. Ini mengurangkan risiko berlakunya pembaziran.
Selain itu, bilik bersih yang digunakan juga akan kelihatan lebih luas. Anda tidak perlu menggunakan saluran udara yang besar atau peniup udara yang berukuran besar untuk mengisi ruang tersebut.
Realiti penggunaan sinar inframerah
Namun, sinar inframerah bukanlah penyelesaian sempurna. Ia mempunyai kelemahan tersendiri. Kelemahan utamanya adalah berkaitan dengan garis pandangan sinar tersebut. Jika bahan yang diproses mempunyai bentuk yang kompleks atau ada bahagian yang tersembunyi, sinar inframerah tidak akan dapat mencapai bahagian tersebut. Dalam kes seperti ini, anda masih perlu menggunakan kaedah pemanasan konvensional atau alat khas untuk memastikan suhu yang sama di seluruh permukaan bahan tersebut.
Satu lagi perkara yang perlu diperhatikan ialah penggunaan tenaga elektrik. Sistem pemanasan menggunakan sinar inframerah memerlukan tenaga yang banyak. Pastikan panel kuasa anda mampu menanggung beban elektrik yang tinggi ketika sistem tersebut dihidupkan.