바이오 센서 제작 적외선 램프

라인에서는 리듬이 끊임없이 이어진다. 바이오센서 웨이퍼가 코팅에서 노광으로, 그리고 베이크 트랙으로 흐른다. 포토레지스트는 항상 정확한 온도에서 도포되어야 하며, 그 허용 범위는 매우 좁다. 몇 도의 온도 편차나 필드 내 핫스폿 발생은 선폭 제어를 잃게 하고, 필름에...