왜 적외선 가열이 스마트 팹에 최적의 선택인가요?
새로운 스마트 팹을 계획하고 있다면, 오래된 저항식 히터는 사용하지 마세요. 그런 히터들은 성능이 형편없습니다. 데이터 시스템과 연동되는 시스템을 원한다면, 적외선 가열이 정답입니다.
진공 상태에서의 가열 현실
진공 상태에서는 열을 전달할 공기가 없습니다. 대류가 일어나지 않으므로, 오직 복사에 의존해야 합니다.
우리의 적외선 가열 시스템은 방 전체를 데우려고 시간을 낭비하지 않습니다. 직접 웨이퍼를 가열합니다. 마치 스포트라이트를 사용하는 것과 같죠. 이렇게 하면 챔버 벽이 불필요한 에너지를 흡수하는 것을 기다릴 필요가 없어져, 가열 속도가 훨씬 빨라집니다. 열은 하우징이 아닌 웨이퍼에 직접 전달됩니다. 간단합니다.
“스마트”한 시스템 만들기
현대적인 팹은 실시간으로 반응해야 합니다. 우리는 PLC로 제어되는 전원 공급 장치와 잘 연동되도록 이러한 히터들을 설계했습니다. 그래서 필요에 따라 출력을 조절할 수 있습니다.
한 번에 특정한 온도 프로파일을 설정해두고, 필요할 때 다른 프로파일로 즉시 전환할 수 있습니다. 더 이상 수동으로 조절하거나 추측할 필요가 없습니다. 게다가, 고밀도 필라멘트를 사용하여 하드웨어의 크기를 줄였습니다. 그 덕분에 센서나 로봇 암이 작동할 공간도 확보됩니다.
단점 (아무도 말하고 싶지 않은 부분)
물론, 고출력 램프는 빠른 가열이 가능하지만, 냉각 시스템에 큰 부담을 줍니다. 빠른 작동 속도를 원한다면, 물놀이식 냉각장치나 히트싱크가 그 열을 감당할 수 있어야 합니다. 그렇지 않으면 램프가 일찍 고장 나거나 진공 상태가 깨질 수 있습니다. 이는 균형을 맞추는 문제입니다.
실제 작동 방식
이러한 히터들을 디지털 네트워크에 연결하면, 각 장치가 얼마나 많은 에너지를 사용하는지 정확히 알 수 있습니다. 각 가열 주기에 대한 기록도 명확하게 남습니다. 이는 단순히 운에 맡기는 구식 타이머보다 훨씬 우수합니다. 이제 챔버 내부에서 무슨 일이 일어나고 있는지 정확히 확인할 수 있습니다.