클린룸이 폭발하지 않도록 하는 방법: 적외선 히터와 휘발성 화학물질
반도체 웨이퍼를 화학적으로 세척할 때는 매우 신중해야 합니다. 정확한 온도 조절이 필요하지만, 동시에 폭발을 일으키는 것도 원치 않습니다.
가연성 또는 폭발성 기체가 있는 환경에서 작업할 때는 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 오히려 위험 요소가 됩니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 히팅 요소 자체보다는 그것을 어떻게 보호하고 관리할지에 집중했습니다.
보호 장치: 유해한 물질의 침입을 막기
우리는 램프를 특수한 석영이나 세라믹 소재로 만들어진 케이스 안에 넣고, 엄격한 화학물질에도 견딜 수 있는 가스켓으로 밀폐합니다. 왜냐하면 밀폐가 실패하면 휘발성 가스가 고온의 표면이나 전기 아크에 닿아 재앙이 발생할 수 있기 때문입니다. 우리는 고급 프로세스폴리머를 사용하여 램프가 그러한 부식성 세척제로부터 완전히 분리되도록 합니다. 이 모든 것은 변형되지 않는 보호막을 만드는 것과 같습니다.
실시간 피드백: 정확한 제어
시스템이 안전하지 않다면 정확도도 별 의미가 없습니다. 그래서 우리는 히터에 고감도의 서미스터를 내장했습니다. 이 센서들은 램프의 표면 온도를 지속적으로 감시합니다. 만약 상황이 악화된다면, 예를 들어 과열이나 화학 반응으로 인해 온도가 급격히 상승한다면, 컨트롤러가 즉시 전원을 차단합니다. 우리는 이 센서들도 램프와 마찬가지로 견고하도록 설계하여, 상황이 나빠질 때에도 성능을 유지할 수 있도록 합니다.
문제점: 열 전달 지연
보호 층을 추가하면 시스템이 더 안전해지지만, 동시에 반응 속도가 느려집니다. 케이스가 장벽 역할을 하기 때문에 열이 목표 지점에 도달하는 데 시간이 더 걸립니다. 이러한 지연을 극복하기 위해 PID 제어 설정을 조정해야 합니다. 그렇지 않으면 설정된 온도를 초과할 수도 있습니다.
결국, 우리는 부식성 가스로부터 시스템을 보호하면서도 전기 부품들을 안전하게 보호할 수 있는 장비를 만듭니다. 그렇게 함으로써 안정적인 열원을 얻을 수 있으며, 무엇보다도 클린룸이 손상되지 않도록 할 수 있습니다.