배터리 낭비를 멈추세요: 금으로 된 반사체가 왜 중요한가?
반도체 제조 과정에서 낭비되는 에너지는 결국 설계상의 결함으로 이어집니다. 생각해보세요. 고출력 가열 요소를 작동시킬 때, 그 열에너지의 상당 부분이 원하는 방향이 아닌 다른 곳으로 새어 나갑니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 가열기 안에 금으로 코팅된 반사체를 넣었습니다.
왜 금인가?
광택이 나는 알루미늄이나 스테인리스 스틸도 눈에는 반짝이지만, 웨이퍼를 가열하는 데 사용되는 파장 대역에서는 에너지를 흡수해버립니다. 하지만 금은 달랐습니다. 금은 적외선 복사의 98% 이상을 반사해냅니다.
따라서 기계의 본체가 따뜻해지는 것이 아니라, 그 에너지가 직접 웨이퍼로 전달됩니다. 즉, 지불하는 에너지 대비 훨씬 더 많은 열을 얻을 수 있습니다.
모든 것은 형태에 달려 있습니다
스테인리스 스틸로 만들어진 케이스가 중요한 역할을 합니다. 우리는 이 케이스를 특정한 포물선이나 타원형 모양으로 가공하여, 에너지를 정확하게 웨이퍼에 집중시킵니다.
정확성이 가장 중요합니다. 케이스의 형태가 단 몇 밀리미터만 잘못되어도 웨이퍼에 온도 차이가 생기고, 그러면 문제가 발생합니다. 우리는 내구성을 위해 케이스를 튼튼하게 가공한 후, 전체 표면에 고르게 열이 분산되도록 금 코팅을 추가합니다.
현실적인 타협점들
물론 모든 것이 완벽한 것은 아닙니다. 금은 초기 비용이 비쌉니다. 또한 금은 원자재인 강철보다 부드러우므로, 설치할 때 조심하지 않으면 긁힐 수 있습니다. 그리고 제발, 이 반사체에 연마제가 들어간 청소용 패드를 사용하지 마세요.
또한 열 밀도도 주의해야 합니다. 거의 모든 에너지가 웨이퍼에 집중되기 때문에, 램프 자체는 반사된 열에 의해 과열되지 않습니다. 하지만 쿨링 팬이 충분히 강력하지 않으면 웨이퍼의 가장자리가 과열될 수 있습니다.