Di area proses pembersihan dan pengeringan ini, alat pemanas berada tepat di antara tahap pembersihan dan tahap litografi. Perubahan suhu sebesar 0,5°C saja sudah cukup untuk menyebabkan munculnya “watermark” pada wafer—atau yang lebih buruk lagi, dapat memicu perubahan struktur fotoresist setelah proses pembakaran. Kami membuat pemanas kuarsa khusus untuk digunakan di zona pembersihan dan pengeringan ini, karena respons termal yang baik, tingkat kebersihan yang tinggi, serta kemampuan untuk menghasilkan hasil yang konsisten sangat penting.
Apa yang penting secara teknis? Inti dari alat pemanas ini adalah emiter inframerah berpanjang gelombang pendek, yang memungkinkan kontrol suhu yang cepat dan akurat. Kami berusaha mencapai keseragaman suhu pada permukaan wafer sebesar ±0,1°C, dengan titik tetap suhu antara 50°C hingga 250°C, dan waktu respons kurang dari 2 detik. Kontrol loop tertutup memastikan bahwa suhu tetap stabil, sehingga struktur sensitif pada wafer tidak rusak setelah proses etching dan CMP. Tubuh pemanas ini terbuat dari kuarsa berkualitas tinggi, yang cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100. Permukaannya dirancang sedemikian rupa agar generasi partikel minimal, dan alat ini dapat beroperasi 24/7 tanpa adanya perubahan suhu yang memerlukan kalibrasi ulang.
Mengapa alat ini cocok untuk digunakan pada alat pembersihan dan pengeringan? Pada alat pembersihan dan pengeringan, diperlukan panas yang cepat mencapai suhu target, sekaligus tetap seragam. Panas tersebut cukup untuk menghilangkan air sisa tanpa merusak pola pada wafer atau mengganggu struktur fotoresist. Pemanas ini mampu mempertahankan profil suhu yang stabil, sehingga proses pembersihan dan pengeringan dapat dilakukan berulang-ulang. Dengan demikian, waktu proses menjadi lebih singkat, jumlah limbah berkurang, dan penggunaan energi pun berkurang berkat efisiensi sistem inframerah serta massa termal yang rendah.
Catatan lapangan: Proses pemasangan alat ini hanya membutuhkan perhatian terhadap orientasi dan jarak antara komponen-komponennya. Selubung kuarsa ini cukup kuat, tetapi akan rapuh jika terkena benturan mekanis. Pastikan tegangan dan konektor sesuai dengan spesifikasi alat Anda. Jika berada di lingkungan dengan tingkat EMI yang tinggi, perlu dilakukan perlindungan tambahan. Dengan pemasangan yang tepat dan penanganan yang hati-hati, alat ini dapat digunakan selama lebih dari 5.000 jam, dengan tingkat degradasi kurang dari 5%.