در خط نمایش انعطافپذیر، عملکرد لولاها به کنترل حرارتی وابسته است. یک Soft Bake که حتی ۲°C تغییر کند، یکنواختی CD را مختل میکند. یک Hard Bake که دما بالا یا پایین باشد، پروفایل مقاومتی را غیرقابل پیشبینی میکند و انتقال اچ به هم ریخته میشود. لامپ خشککن نباید فقط منبع حرارت باشد—باید مانند یک ابزار فرآیند صحیح عمل کند.
آنچه در زیر سطح اهمیت دارد: ما لامپ خشککن را بر اساس NIR طراحی کردیم، با اپتیکهای کوارتز برای گرم کردن سریع و بدون تماس. در سراسر ناحیه روشن، یکنواختی در سطح ویفر ±۰.۱°C حفظ میشود، بنابراین هر Soft Bake و Hard Bake همان بودجه حرارتی را دریافت میکند. این دستگاه برای اتاق تمیز کلاس ۱–۱۰۰ طراحی شده است: گازدهی کم و تولید صفر ذره تحت عملیات پایدار. لامپ میتواند به صورت ۲۴ ساعته و ۷ روز هفته با خروجی قابل پیشبینی کار کند و تکرارپذیری در هر دسته حفظ میشود.
چرا این در کارخانههای نمایش انعطافپذیر کار میکند: زیرلایهها نازک و حساس به حرارت هستند. لامپ به سرعت افزایش دما مییابد در حالی که کنترل دقیق را حفظ میکند، بنابراین زمان چرخه را بدون تحت فشار قرار دادن ساختار کاهش میدهید. پروفایلهای فتو رزیست ثابت باقی میمانند، که منجر به حفظ همپوشانی در محدوده مشخص و کنترل ابعاد بحرانی اچ میشود. مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا لامپ فقط ناحیه هدف را گرم میکند و تعداد کمتر دستههای بازسازی به معنای ضایعات کمتر است.
نکاتی که باید به خاطر داشته باشید. لامپ به یک منبع تغذیه تمیز و پایدار و مدیریت حرارتی مناسب در نقطه ادغام نیاز دارد. این دستگاه با اکثر خطوط لیتوگرافی و پوشش سازگار است، اما باید در حین نصب رابط مونتاژ و سیگنالهای کنترل را تأیید کنید. یک دوره راهاندازی کوتاه را برنامهریزی کنید تا دستورالعملهای Soft Bake و Hard Bake را قفل کنید، سپس پنجره فرآیند را قبل از شروع تولید حجم تأیید کنید.