Die Temperatur erhöhen – ohne alles in die Luft zu jagen
Wenn man in einer Halbleiterfertigungsanlage arbeitet, kennt man das Problem. Chemische Reinigungsverfahren sind notwendig – doch dabei werden oft Lösungsmittel verwendet, die sofort in Flammen aufgehen können, wenn man sie falsch behandelt.
Es ist daher keine gute Idee, einfach eine herkömmliche Infrarotlampe in dieses Verfahren einzubringen. Man kann nicht einfach darauf hoffen, dass alles gut geht, wenn es um brennbare Dämpfe geht. Deshalb konzentrieren wir uns darauf, die Wärme genau dort zu halten, wo sie hingehört – und die Funken fern von den Chemikalien zu halten.
Das Schlechte aussperren
Wir schließen die Infrarotemitter nicht einfach nur an das Stromnetz an – das führt nur zu Unfällen. Stattdessen umhüllen wir die Emitter mit einem robusten Gehäuse aus Quarz oder Saphir. Das ist wie ein Hochtechnologieschutzschild: Es creates eine physische Trennung zwischen dem extrem heißen Glühfaden und den brennbaren Dämpfen im Raum.
Aber an den Rändern kann es zu Problemen kommen. Um das zu verhindern, verwenden wir verstärkte Kabelanschlüsse sowie hochtemperaturbeständige Fluorelastomerkissen. Dadurch bleibt die explosive Luft draußen und das Inertgas bleibt dort, wo es hingehört.
Die Temperatur richtig regulieren
In einer Fertigungsanlage reicht „nahe genug“ nicht aus. Die Temperatur muss genau dort bleiben, wo sie eingestellt wurde.
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotlampen. Warum? Weil sie schnell auf das Substrat wirken. So erhält man die benötigte Wärme, ohne dass der ganze Raum in einen Ofen verwandelt wird. Dadurch überhitzen die chemischen Behälter nicht – was eine große Erleichterung ist. Zudem regulieren wir die Leistung pro Quadratzentimeter, damit es keine zu heißen Stellen gibt.
Etwas, worauf man achten muss, ist die Luftzirkulation. Diese Hochleistungs Lampen werden an den Enden sehr heiß. Wenn die Belüftung nicht ausreichend ist, können die Dichtungen versagen oder die Isolierung des Kabels schmelzen. Das ist ein einfacher Fehler – aber ein teurer.
Es in der Praxis funktionieren lassen
Das Beste daran ist, dass diese Geräte als Ersatzteile verwendet werden können. Man muss die gesamte Anlage nicht neu entwerfen.
Wir verwenden geerdete Gehäuse sowie explosionsgeschützte Verkabelung, um jedes Risiko von statischer Aufladung auszuschließen. Dadurch sinkt das Risiko von Funkenbildung praktisch auf Null.
So kann man diese Hochtemperaturreinigungsprozesse durchführen – und abends beruhigt schlafen, ohne befürchten zu müssen, dass das Feuerlöschsystem ausgelöst wird.