In der Fertigung ist die Erhitzung des Photoresists keine Empfehlung – sie ist vielmehr ein wichtiger Bestandteil des thermischen Plans. Eine Abweichung von 2 °C bei der weichen oder harten Erhitzung kann dazu führen, dass kritische Abmessungen beeinflusst werden, Schichten entstehen und viel Material als Schrott endet. Der Quarzheizkörper sorgt dafür, dass dieser thermische Plan eingehalten wird – Schicht für Schicht.
Was wirklich wichtig ist: Wir entwickeln diese Quarzheizkörper so, dass sie in den extremen Bedingungen der Fertigungsöfen funktionieren können: schnelle Reaktionszeiten, stabile Leistung – auch dann, wenn die Tür ständig geöffnet und geschlossen wird. Kurzwelliges Infrarotstrahlung bringt die Wärme genau dorthin, wo sie benötigt wird – in die Prozesszone. Wenig thermische Trägheit bedeutet wiederholbare Ergebnisse bei der Erhitzung.
Über die gesamte Länge hinweg bleibt die Homogenität auf der Wafer-Ebene bei ±0,1 °C – somit erhält jede Charge das gleiche Ergebnis. Der Quarzkörper ist so konstruiert, dass er keine Partikel freisetzt – dadurch bleibt die Umgebung in den Klassen 1–100 der Reinraumklasse erhalten. Im Einsatz halten diese Geräte mehr als 5.000 Stunden lang eine konstante Leistung aufrecht.
Warum das in der Lithografie wichtig ist: In der Lithografie muss die Erhitzung des Photoresists zu jeder Zeit konstant sein – egal ob um 2 Uhr morgens oder 2 Uhr nachmittags. Diese Heizkörper erreichen schnell die gewünschte Temperatur, was die Aufwärm- und Erholungszeit verkürzt – ohne dass dabei die Präzision leidet.
Das bedeutet mehr Chargen pro Tag, weniger Nacharbeiten und weniger Schrott. Zudem wird Energie eingespart, da der Heizkörper schnell die gewünschte Temperatur erreicht und sie mit minimalem Schwankungen aufrechterhält. Wenn die weiche und harte Erhitzung auf verschiedenen Wafern, Chargen und Werkzeugen wiederholbar ist, öffnet sich das Möglichkeitsfenster für effizientere Prozesse.
Praktische Details: Die Installation ist einfach – doch man muss darauf achten, dass die Anschlüsse zum Ofen passen. Überprüfen Sie die Abstände der Befestigungen, den Typ der Steckdosen sowie den Typ der Thermoelemente und die PID-Einstellungen des Controllers.
Behandeln Sie den Quarzelement als empfindlichen Bestandteil – es darf nicht berührt werden, und alles muss sauber gehalten werden. Berücksichtigen Sie außerdem die thermische Ausdehnung sowie die Richtung der Luftströmung, damit keine Hotspots entstehen. Ein Betrieb in einem trockenen, gefilterten Gasumfeld verlängert die Lebensdauer des Heizkörpers – besonders in Fabriken mit hoher Luftfeuchtigkeit.