V prostředí výroby může i půlstupňová změna teploty během procesu zpracování vést k posunu kritických rozměrů o několik nanometrů, což znamená, že kvalitní výrobky se mohou proměnit v odpad. Výnosnost nelze řídit prostřednictvím nadějí – je potřeba ji kontrolovat pomocí přesné regulace teploty, která přesahuje požadavky samotného procesu. Náš teplotní senzor je navržen právě pro takové situace.
Co je technicky důležité
Uvádíme stabilitu ±0,1 °C v celém rozsahu teplot používaném při zpracování fotorezistů – tolerance lithografie totiž spadají do tohoto rozsahu. Senzor lze použít v zařízeních s úrovní čistoty 1–100 a je navržen tak, aby nevytvářel žádné částice – tedy neohrožuje čistotu, kterou se snažíme udržet. Senzor funguje 24/7 a jeho životnost je taková, aby se zabránilo neplánovaným přerušením provozu. Poskytuje také informace potřebné pro statistickou kontrolu procesu.
Proč funguje v reálných podmínkách
Při měkkém i tvrdém zpracování senzor zajistuje stabilní teplotní režim. Rozpouštědla odcházejí předvídatelně a profil fotorezistu zůstává konzistentní. Jednotnost teploty na horké desce je také stabilní, což snižuje variabilitu okrajů vzoru a zlepšuje jeho preciznost.
To znamená méně odchylek, méně oprav a stabilitu chování zařízení ze šiku na šik. Čísla ukazují na to, co je důležité: stabilní teplotní profile, méně problémů s částicemi a provoz zařízení podle plánu.
Co je potřeba udělat správně
Instalace musí odpovídat tepelné hmotnosti zařízení a vašemu intervalu kalibrace. Pokud není senzor umístěn správně, může zakrýt ty odchylky, které se snažíte zachytit.
Očekávejte krátké období kalibrace potřebné k úpravě nastavení senzoru podle skutečné teploty waferu. Kalibraci provádějte pravidelně, abyste udrželi stabilitu na úrovni ±0,1 °C. Pokud to uděláte správně, senzor se stane referencí, které celý modul pro zpracování důvěřuje.