V procesu sušení po CMP stále dochází k problémům způsobeným vodními skvrnami a opětovným usazováním částic. Většinou je viníkem nestabilní tepelná profilace během sušení. Náš ohřívač určený k sušení čipů po CMP je navržen tak, aby tuto variabilitu odstranil – a ne ji ještě zvýšil.
Co je z technického hlediska důležité
Používáme krátkovlnné infračervené prvky umístěné za křemíkovým oknem – energie tak dopadá přímo na čip a rychle, bez toho, aby překročila povrch substrátu. V aktivní zóně udržujeme rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C. Opakovatelnost je zaručena díky kalibrovanému řízení v uzavřené smyčce, které sleduje nastavenou hodnotu ve srovnání s skutečnou teplotou v reálném čase. Tento zařízení se hodí do čistých místností třídy 1–100. Materiály a uzávěry jsou vybrány tak, aby minimalizovaly vznik částic v ustáleném stavu.
Proč to funguje při sušení po CMP
Úkol je jednoduchý: zbavit čip čistě, rychle a bez zbytků tekutiny. Přesné tepelné řízení zajišťuje, že povrchové napětí zůstává konstantní u každé série výrobků – což přímo snižuje počet vad. Stejná stabilita má význam i v následném procesu zpracování fotorezistentů. Profily měkkého a tvrdého sušení zůstávají konzistentní, takže nevznikají problémy s dimenzemi nebo nerovnostmi na hranách čar. Ohřívač také pracuje 24/7 bez neočekávaných přestávek, což zaručuje konzistentní výkon a předvídatelnou údržbu.
Co byste měli vědět předem
Instalace spočívá v přizpůsobení geometrie komory a správném uspořádání rozvodů chladicí kapaliny a odvodu vzduchu. Poskytujeme návrhy rozvodů, ale stejně je potřeba provést kontrolu na místě. Před první produkcí je potřeba provést krátké zahřátí, aby bylo dosaženo tepelné rovnováhy. To je cena za potřebnou opakovatelnost. Jakmile je vše správně naladěno, zařízení udržuje tepelnou rovnováhu a zachovává stabilitu celého procesu.