في عملية التصنيع باستخدام تقنية EUV، لا يمكن التسامح مع أي اختلافات في درجة الحرارة. إذا كانت درجة الحرارة أعلى بدرجة واحدة خلال عملية التسخين، فإن ذلك قد يؤدي إلى حدوث اختلافات في جودة الشرائح. وهذا يؤدي إلى خسارة في الإنتاج، وذلك بشكل تدريجي، وبطريقة تتكرر من دورة إلى أخرى. لذلك، يجب أن توفر مكونات التسخين درجة حرارة ثابتة، سواء في مختلف الدورات أو في مختلف الدفعات، دون أن يؤدي ذلك إلى تكوّن جسيمات أو توقف العملية.
ما هو المهم في الواقع؟ نحن نصنع أجهزة التسخين المستخدمة في تقنية EUV باستخدام مصادر أشعة تحت الحمراء مُضبوطة بدقة، سواء كانت أشعة ذات موجات قصيرة أو متوسطة، بالإضافة إلى نوافذ من الكوارتز وعناصر هالوجينية مختارة لضمان استقرار الإشعاع الناتج. والنتيجة هي توحيد درجة الحرارة على سطح الشريحة بدقة تصل إلى ±0.1°C، بالإضافة إلى توفير أنماط تسخين متكررة ضمن نطاق معين. كما أن الجهاز مصمم ليعمل في بيئات نظيفة من الفئة 1-100، وتم اختيار المواد المستخدمة للحفاظ على عدم تكوّن أي جسيمات أثناء التشغيل. كما أن الجهاز يعمل بقدرة وجهد قياسيين، وتتوافق خيارات الاتصال مع أنظمة التسخين القائمة، بحيث لا يتطلب ذلك إعادة توصيل الأسلاك.
لماذا يعمل هذا الجهاز مع تقنية EUV؟ طبقات المواد المستخدمة في تقنية EUV رقيقة جدًا، وبالتالي فإن السيطرة على درجة الحرارة أمر مهم للغاية. نحن نحافظ على درجة الحرارة في المستوى المطلوب وفقًا لمواصفات العملية، وليس حسب التغيرات الطبيعية في درجة الحرارة. وهذا يعني سيطرة أفضل على الأبعاد الحرجة، وتقليل العيوب، بالإضافة إلى ضمان جودة عالية في الإنتاج. من المهم أيضًا أن يعمل الجهاز على مدار 24 ساعة دون توقفات غير مخطط لها، دون وجود نقاط ساخنة أو أي مشاكل أخرى تؤدي إلى توقف العملية.
ما الذي يجب التخطيط له؟ عملية التركيب بسيطة على الأنظمة القياسية، لكن يجب أن يتناسب جهاز التسخين مع شكل الغرفة ومسار الأشعة تحت الحمراء. من المتوقع أن يتطلب الأمر فترة تشغيل قصيرة لضبط أنماط التسخين والتأكد من توحيد درجة الحرارة. عمر الجهاز طويل، حيث يمكن أن يعمل لأكثر من 5,000 ساعة، لكن لا يزال من الضروري إجراء عمليات تعديل دورية للحفاظ على درجة حرارة ثابتة. يجب أن يتم تخطيط هذه العمليات في الجدول الزمني، حتى يتم الحصول على نتائج مستقرة في كل دورة تصنيع.