في مرحلة ما بعد عمليةCMP، لا تزال آثار الماء وتراكم الجسيمات تؤثر سلبًا على جودة المنتج. في معظم الأحيان، يكون السبب هو عدم استقرار درجة الحرارة أثناء عملية التجفيف. لذلك، قمنا بتصميم جهاز التسخين الخاص بنا ليساعد في التغلب على هذه المشكلة، بدلاً من إضافة المزيد من المشاكل.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ نستخدم عناصر الأشعة تحت الحمراء ذات الطول الموجي القصير خلف نافذة من الكوارتز، بحيث تصل الطاقة إلى الرقاقة مباشرة وبسرعة، دون أن تتجاوز السطح. نحافظ على توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما أن النظام يتحكم في درجة الحرارة بدقة باستخدام نظام تحكم ذو حلقة مغلقة. يمكن استخدام هذا الجهاز في غرف نظيفة من الفئة 1–100، وتم اختيار المواد والأجزاء المستخدمة لضمان عدم تكوّن أي جسيمات أثناء التشغيل.
لماذا يعمل هذا الجهاز في مرحلة ما بعد عمليةCMP؟ المهمة بسيطة: إزالة طبقة الغسيل بشكل نظيف وسريع، دون ترك أي بقايا. التحكم الدقيق في درجة الحرارة يساعد في الحفاظ على استقرار السطح، وبالتالي يقلل من العيوب. كما أن هذا الاستقرار يساعد أيضًا في الحفاظ على استقرار أبعاد الرقاقة وجودة سطحها. يعمل الجهاز على مدار 24 ساعة دون أي توقفات مفاجئة، مما يساعد في الحفاظ على استمرارية العملية وسهولة الصيانة.
ما يجب أن تعرفه مسبقًا؟ يتعلق التركيب بمطابقة شكل الغرفة مع تصميم الجهاز، بالإضافة إلى ترتيب مواقع أنظمة التبريد والتهوية بشكل صحيح. نحن نوفر رسومات توضيحية لذلك، لكن يجب عليك التحقق من ذلك بنفسك. يجب أن يتم تسخين الجهاز لفترة قصيرة قبل استخدامه، حتى يصل إلى حالة التوازن الحراري. هذا هو الثمن الذي يجب دفعه مقابل الحصول على استقرار في درجة الحرارة. بمجرد أن يتم ترتيب الجهاز بشكل صحيح، فإنه سيساعد في الحفاظ على استقرار درجة الحرارة والحفاظ على جودة العملية.