节能型半导体加热器

红外加热与热风加热：哪种方式更适用于处理晶圆？ 如果您从热风循环加热方式转向红外加热方式，实际上就是改变了能量传递到基材上的方式。 先想想热风加热的原理吧。您需要先加热空气，然后再让空气去加热基材。这个过程存在一定的延迟，效率较低。而红外加热则不同——它是通过电磁辐射直接作用于目标物体，无需任何中...