停止浪费电能：为何黄金反射器如此重要
在半导体加工过程中，每一瓦特的电能浪费都意味着设计上的缺陷。试想一下：当高功率加热元件开始工作时，大量红外能量会散失掉——它们要么向后反射，要么向侧面散射，总之不会流向预定的方向。
为了解决这个问题，我们在加热器组件中加入了镀金反射器。
为什么选择黄金？
虽然抛光过的铝或不锈钢看起来很光亮，但实际上它们会吸收用于加热晶圆的红外能量。而黄金则不同——它能够将98%的红外辐射反射回去。这样一来，能量就不会被浪费在机器的壳体上，而是直接作用于晶圆上。这样，每消耗一瓦特电能，就能获得更多的热量。
形状至关重要
不锈钢外壳在这里起着关键作用。我们将其加工成特定的抛物线形或椭圆形，从而将辐射能量集中到一个小范围内。精度非常重要——如果外壳的形状有哪怕几毫米的偏差，那么晶圆上就会出现温度不均的情况，进而引发问题。我们会先对外壳进行强化处理，然后再在其表面镀上黄金层，以确保整个表面的温度分布均匀。
需要权衡的代价
当然，这并非万灵药。黄金的成本较高，而且它的硬度也低于普通钢材，因此如果在安装过程中操作不当，就有可能刮伤表面。另外，请千万不要用研磨剂来清洁这些反射器。
此外，还需要注意热密度的问题。由于几乎所有的能量都被集中在晶圆上，灯体本身不会因为反射热而过热。不过，必须确保冷却风扇足够强劲，才能应对这种集中的热量。否则，晶圆的边缘就有可能过热。