Các bộ phận làm nóng cho chất cản tia UV mạnh (EUV)

Wed, 01 Jul 2026 07:57:07 +0800

Trong quy trình sản xuất bộ phim chống nhiệt dùng cho công nghệ EUV, sai số nhiệt độ là điều không thể chấp nhận được. Nếu nhiệt độ trong quá trình nung khô cao hơn một chút thì chất lượng wafer sẽ bị ảnh hưởng. Những yếu tố như này sẽ dẫn đến việc giảm hiệu suất sản xuất, và tình trạng này sẽ lặp đi lặp lại qua từng ca sản xuất. Các bộ phận làm nóng dưới lớp bộ phim chống nhiệt cần phải duy trì nhiệt độ ổn định, không có sự thay đổi nhiệt độ qua các ca sản xuất khác nhau, đồng thời không gây ra việc tạo ra các hạt bụi hay gián đoạn quá trình sản xuất.

Bộ Phận們 on Handcrafted Warm IR Heaters

Các bộ phận làm nóng cho chất cản tia UV mạnh (EUV)