Trên sàn đo lường, kết quả đọc XRD chỉ chính xác nếu giai đoạn ổn định nhiệt được đảm bảo. Sai lệch 0,5°C sẽ làm thay đổi kết quả tham số mạng tinh...

Trên dây chuyền màn hình linh hoạt, năng suất phụ thuộc vào kiểm soát nhiệt. Một quá trình Soft Bake chênh lệch ngay cả 2°C cũng làm mất đồng nhất...