http://warm-ir-heater-craft.com/uk/tags/cmp/ Recent content in CMP on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo uk Sun, 21 Jun 2026 03:02:49 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/uk/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Sun, 21 Jun 2026 03:02:49 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/uk/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Нагрівач для сушіння пластин після процедури CMP"></p> <p>На етапі сушіння після процедури CMP все ще існують проблеми, пов’язані з розташуванням крапель води та осадженням частинок на поверхні пластини. Часто причиною є нестабільний тепловий профіль під час сушіння. Ми створили спеціальний нагрівач для сушіння пластин післяCMP, щоб усунути цю проблему – а не додати ще більше складнощів.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Ми використовуємо елементи короткохвильового інфрачервоного випромінювання, розташовані за кварцовим склом. Це дозволяє енергії потрапляти безпосередньо на поверхню пластини та швидко її нагрівати – без перегріву самої пластини. У активній зоні ми підтримуємо однорідність температури на рівні ±0,1°C. Однорідність зберігається завдяки каліброваній системі контролю, яка постійно порівнює задану температуру з фактичною в режимі реального часу. Пристрій підходить для чистих приміщень класу 1–100; матеріали та елементи герметизації обрані так, щоб у стабільному режимі не виникало жодних частинок.</p>