Esnek ekran kurutma lambası fab

Fri, 05 Jun 2026 01:52:16 +0800

Esnek ekran hattında, verim ısı kontrolüne bağlıdır. Hatta 2°C’lik bir kayma, CD uniformitesini bozar. Sıcak veya soğuk çalışan bir Sert Kurutma, direnç profilini öngörülemez hale getirir ve aşındırma transferi dağınık olur. Kurutma lambası sadece bir ısı kaynağı olmamalıdır; düzgün bir süreç aracı gibi davranmalıdır.
Önemli olan: kurutma lambasını NIR etrafında inşa ettik, hızlı ve temasız ısıtma için kuvarsoptikler ile donattık. Aydınlatılan alanda, wafer seviyesinde uniformite ±0.1°C tutar, böylece her Yumuşak Kurutma ve Sert Kurutma aynı termal bütçeyi alır. Sınıf 1–100 temiz oda için tasarlanmıştır: düşük gaz salınımı ve sabit çalışmada sıfır parçacık üretimi. Lamba, öngörülebilir bir çıkış ile 24/7 çalışabilir ve tekrar edilebilirlik her parti için korunur.
Esnek ekran fabrikalarında neden bu işe yarar: alt tabakalar ince ve termal olarak hassastır. Lamba hızlı bir şekilde rampalarken kontrolü sıkı tutabilir, böylece döngü süresini kısaltır ve yapıyı zorlamaz. Foto direnç profilleri stabil kalır, bu da örtüşmeyi spesifikasyona uygun tutar ve aşındırma kritik boyut kontrolünü tutarlı hale getirir. Enerji kullanımı düşer çünkü lamba sadece hedef alanı ısıtır ve daha az yeniden işleme partisi, daha az atık anlamına gelir.
Akılda tutulması gerekenler: Lamba, temiz, kararlı bir güç kaynağı ve entegrasyon noktasında uygun termal yönetim gerektirir. Çoğu litografi ve kaplama hatları ile uyumludur, ancak montaj arayüzünü ve kontrol sinyallerini kurulum sırasında doğrulamanız gerekir. Yumuşak Kurutma ve Sert Kurutma tariflerini kilitlemek için kısa bir devreye alma çalışması planlayın, ardından hacmi artırmadan önce süreç penceresini nitelendirin.

Esnek on Handcrafted Warm IR Heaters

Esnek ekran kurutma lambası fab