http://warm-ir-heater-craft.com/ru/tags/%D1%8D%D0%BA%D1%80%D0%B0%D0%BD/ Recent content in (Экран) on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo ru Wed, 24 Jun 2026 01:35:47 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ru/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 01:35:47 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ru/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Лампа для сушки пленок DNS (Screen)"></p> <p>На этапе литографии пластина диаметром 300 мм только что выходит из устройства для очистки DNS и ожидает процедуры обработки фоторезистом. Установка не может терпеть отклонения температуры более ±0,5 °C; кроме того, в чистой комнате недопустима наличие лишних частиц. Даже небольшие отклонения температуры приводят к потере контроля над параметрами процесса, а значит — и к снижению производительности.</p> <p><strong>Точность инфракрасного нагрева: однородность и повторяемость на уровне субмиллиметра</strong><br> Лампы для сушки пластин в устройстве DNS оснащены излучателями коротковолнового инфракрасного излучения, настроенными таким образом, чтобы они соответствовали спектру поглощения света фоторезистом. Это обеспечивает однородность температуры на всей поверхности пластины на уровне субмиллиметра, а также возможность точного контроля температуры во время процедур сушки. Система закрытого цикла позволяет поддерживать температуру именно в тех значениях, которые требуются по технологической карте. Благодаря этому каждая партия продукции получает одинаковые условия обработки.</p>