Компоненты нагревателей для резистов в области экстремального УФ излучения (EUV)

Wed, 01 Jul 2026 07:57:07 +0800

На этапе литографии использование фотополимеров для EUV-процессов требует точного контроля температуры. Если температура во время процесса нагрева будет чуть выше нормы, это приведет к ошибкам при обработке пластины. Вы начинаете терять производительность — постепенно, и это происходит снова и снова на протяжении всего процесса. Компоненты нагревателя должны обеспечивать стабильную температуру независимо от серий производства, без образования частиц или простоев оборудования.

Что имеет значение внутри устройства
Мы используем контролируемые инфракрасные источники света — коротковолновые и средневолновые — в сочетании с кварцевыми окнами и галогеновыми элементами, выбранными за счет их стабильности в спектральном излучении. Это позволяет добиться температурной однородности на поверхности пластины в пределах ±0,1°C, а также стабильности профилей нагрева. Устройство подходит для использования в чистых помещениях класса 1–100; материалы и элементы конструкции выбраны таким образом, чтобы исключить образование частиц во время работы. Мощность и напряжение соответствуют стандартам, а разъемы позволяют использовать устройство в существующих системах нагрева без необходимости перепайки.

Части on Handcrafted Warm IR Heaters

Компоненты нагревателей для резистов в области экстремального УФ излучения (EUV)