Нагреватель инфракрасного излучения для нанесения покрытия и процесса развития

Mon, 29 Jun 2026 03:32:56 +0800

На этапе литографии даже небольшое изменение температуры в 0,2°C может привести к смещению коэффициента CD, что, в свою очередь, снижает качество продукции и ускоряет процесс её изготовления. Устройства для нанесения фоторезиста и его обработки требуют быстрого нагрева, точного поддержания температуры на протяжении всего процесса обработки пластины. Если инфракрасные нагреватели не работают должным образом, это приводит к потерям продукции, необходимости её переработки и задержкам в производстве.

Что важно при использовании таких устройств
Мы спроектировали эти инфракрасные нагреватели с использованием технологии излучения в диапазоне ближнего инфракрасного света. Это позволяет энергии напрямую достигать фоторезиста. Таким образом достигается мгновенная реакция на изменения температуры, а также однородность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Повторяемость температуры также контролируется, что гарантирует одинаковые условия обработки для каждой партии продукции.

Разработчик on Handcrafted Warm IR Heaters

Нагреватель инфракрасного излучения для нанесения покрытия и процесса развития