Części grzewcze dla rezystów do ekstremalnego UV (EUV)

Wed, 01 Jul 2026 07:57:07 +0800

W procesie litografii przy użyciu materiałów EUV nie można sobie pozwolić na błędy termiczne. Jeśli temperatura podczas procesu jest o kilka stopni za wysoka, lub jeśli dochodzi do odchyłek w temperaturze na całej powierzchni płytki, zaczyna się spadek jakości produktu – w sposób subtelny, i powtarza się to z każdą serią produkcji. Elementy grzewcze umieszczone pod materiałem EUV muszą zapewniać stałą temperaturę, niezależnie od serii produkcji, bez tworzenia cząstek brudzących czy przerw w pracy urządzenia.

(EUV) on Handcrafted Warm IR Heaters

Części grzewcze dla rezystów do ekstremalnego UV (EUV)