http://warm-ir-heater-craft.com/nl/tags/uv/ Recent content in UV on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo nl Wed, 01 Jul 2026 07:57:07 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/nl/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Wed, 01 Jul 2026 07:57:07 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/nl/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Extreem UV (EUV) resistverwarmde onderdelen"></p> <p>Op de lithografielijn biedt de verwerking van EUV-resist geen ruimte voor thermische afwijkingen. Is de temperatuur tijdens het bakken een graad te hoog? Dan ontstaan er afwijkingen op het waferoppervlak. Hierdoor neemt de opbrengst geleidelijk af – op een manier die zich elke shift herhaalt. De verwarmingselementen onder de resist moeten een constante temperatuur leveren, ongeacht of het om verschillende shifts of ladingen gaat. Ze mogen geen deeltjes vrijmaken en mogen ook geen stilstand veroorzaken.</p>