Uitdrogen on Handcrafted Warm IR Heaters

MEMS sensoreenvriesdroger

Fri, 10 Jul 2026 02:12:43 +0800

Het vervangen van hete lucht door infraroodverwarming bij het drogen van MEMS-chips
Lang was het gebruikelijke procedé om MEMS-sensorchips te drogen, gewoon hete lucht over ze heen blazen. Het is een ouderwetse manier. Hierbij wordt gebruik gemaakt van con Vecatie om warmte over het oppervlak te brengen, in de hoop dat de vochtigheid kan verdampen.

Het probleem? Het proces is ontzettend langzaam. Je moet minutenlang wachten tot de lucht echt in de kleine spleten en structuren van de MEMS-chip komt. Dit vormt een belemmering voor het productieproces.

Groothandelslamp voor het drogen van wijfers

Mon, 06 Jul 2026 04:35:12 +0800

Waarom de juiste IR-lamp je winst op de assemblageafdeling flink kan verhogen
Wij maken lampen voor het drogen van wafers, en dat gebeurt uitsluitend op de afdelingen waar veel producten worden geproduceerd en getest. Het is simpel gezegd: we helpen je om meer producten te produceren, zonder dat de kosten te hoog worden.

Als we het hebben over ‘foundry-grade’-lampen, bedoelen we dat deze lampen zeer betrouwbaar zijn en consistent werken. Je kunt erop rekenen dat ze altijd goed functioneren, ook wanneer de productie onophoudelijk doorgaat.

Verwarmder voor het drogen van CMP wafers

Sun, 21 Jun 2026 03:02:49 +0800

Op het einde van het proces blijven watervlekken en het opnieuw neerslaan van deeltjes na de CMP-procedure het rendement beperken. Meestal is de oorzaak een onstabiel thermisch profiel tijdens het drogen. We hebben onze droogapparaten na de CMP zo ontworpen dat deze variabiliteit worden weggenomen – in plaats van te worden verhoogd.

Wat technisch gezien belangrijk is
We gebruiken kortegolflange infraroodstralen die via een kwartsraam worden afgegeven. Hierdoor komt de energie rechtstreeks en snel op het wafer terecht – zonder dat deze energie het substraat bereikt. In de actieve zone houden we de uniformiteit van de temperatuur op het wafer op ±0,1°C. De herhaalbaarheid blijft hoog, omdat er een gekalibreerde closed-loop-regeling wordt gebruikt om de gewenste temperatuur in real time te controleren. Het apparaat past in schone ruimtes van klasse 1–100. De materialen en sluitingen zijn zodanig gekozen dat er geen deeltjes meer worden gegenereerd zodra het apparaat in een stabiele staat is.

Flexibele display drooglamp fab

Fri, 05 Jun 2026 01:52:16 +0800

Op de flexibele displaylijn is de opbrengst afhankelijk van thermische controle. Een Soft Bake die zelfs 2°C afwijkt, verstoort de CD-uniformiteit. Een Hard Bake die te heet of te koud is, maakt het weerstandprofiel onvoorspelbaar, en de etch-overdracht wordt onregelmatig. De drooglamp kan niet alleen een warmtebron zijn; deze moet zich gedragen als een goed procesinstrument.
Wat er achter de schermen belangrijk is: we hebben de drooglamp gebouwd rond NIR, met kwartsoptiek voor snelle, contactloze verwarming. Over de verlichte zone houdt de uniformiteit op wafer-niveau ±0.1°C, zodat elke Soft Bake en Hard Bake hetzelfde thermische budget krijgt. Het is ontworpen voor cleanroom Klasse 1–100: lage outgassing en geen deeltjesgeneratie tijdens constante werking. De lamp kan 24/7 draaien met voorspelbare output, en de herhaalbaarheid blijft consistent van partij tot partij.
Waarom dit werkt in flexibele display fabs: substraten zijn dun en thermisch gevoelig. De lamp stijgt snel in temperatuur terwijl deze nauwkeurig blijft in de controle, zodat je de cyclusduur verkort zonder de stapel te belasten. De fotoresistprofielen blijven stabiel, wat ervoor zorgt dat de overlay binnen specificaties blijft en de controle van de kritische afmetingen bij etsen consistent is. Het energieverbruik daalt omdat de lamp alleen het doelgebied verwarmt, en minder herwerkpartijen betekenen minder afval.
Hier is wat je in gedachten moet houden. De lamp heeft een schone, stabiele stroomvoorziening en goede thermische beheersing op het integratiepunt nodig. Hij is compatibel met de meeste lithografie- en coatingtracks, maar je moet de montagesinterface en controlesignalen tijdens de installatie bevestigen. Plan een korte inbedrijfstelling om de Soft Bake en Hard Bake recepten vast te leggen, en kwalificeer het procesvenster voordat je volume gaat produceren.