IR-verwarming versus hete lucht: Welke methode werkt eigenlijk het beste voor uw wafers?
Als u overstapt van hete luchtcirculatie naar infrarood (IR)-verwarming, verandert u in feite de manier waarop energie bij het substraat terechtkomt.
Denk even na over hete lucht. U verwarmt eerst de lucht, en vervolgens moet die lucht het onderdeel verwarmen. Er is een vertraging; het gaat langzaam. IR is anders. Het gaat om elektromagnetische straling die rechtstreeks het doel bereikt. Geen tussenpersoon nodig.
De klok tikt voortdurend
Bij geavanceerde halfgeleiderbewerking is tijd letterlijk geld.
Met hete lucht zit u vast aan lange opwarmcycli voordat de ruimte stabiel is. Dat is frustrerend. IR-lampen bereiken de gewenste temperatuur al na enkele seconden.
U merkt dit vooral bij het drogen of cureren. Omdat de lucht – en daarmee de ‘thermische inertie’ – weg is, kan u veel sneller opwarmen en afkoelen. Hierdoor kunt u elke dag meer wafers verwerken.
De warmte op de juiste plek brengen
We hebben allemaal te maken gehad met problemen door verschillende temperaturen veroorzaakt door hete lucht. Hierdoor ontstaan er hete en koude plekken, afhankelijk van waar de blazers zich bevinden. Dat is een chaos.
IR maakt het mogelijk om gepersonaliseerde verwarming toe te passen. U kunt de lampen zo instellen dat ze precies de plekken op het substraat bereiken die verwarming nodig hebben. Minder overtollige bewerking, minder afval.
Bovendien voelt de schone ruimte groter aan. U heeft geen enorme leidingen of grote blazers meer nodig die al uw vloeroppervlak in beslag nemen.
De realiteit
IR is echter geen magisch oplossing. Het heeft ook zijn beperkingen.
De grootste beperking is de zichtlijn. Als het onderdeel een vreemde 3D-vorm heeft of diepe inkepingen, kan de IR-straling deze plekken niet bereiken. In zulke gevallen heeft u nog steeds conventionele verwarming of een roterend apparaat nodig om een evenmatige temperatuur te behouden.
En nog één ding: houd rekening met de stroomverbruik. IR-lampen met een hoge vermogenswaarde verbruiken veel energie. Zorg er dus voor dat uw elektrische installatie dit piekverbruik aankan wanneer u de schakelaar indrukt.