센서 on Handcrafted Warm IR Heaters

스마트 센서 포장 적외선

Tue, 28 Jul 2026 03:15:24 +0800

클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 “거의 깨끗하다”는 수준으로는 충분하지 않습니다. 아주 작은 먼지 조각이나 히팅 요소에서 나오는 기체만으로도 웨이퍼가 손상되거나 센서가 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황이죠.

웨이퍼용 고정밀 IR 센서

Fri, 24 Jul 2026 09:46:36 +0800

정밀한 적외선 가열로 탄소 배출을 줄이다
반도체 공장에서 작업할 때, 온도는 단순한 설정값이 아니라 모든 것을 결정하는 요소입니다. 조금만 오차가 생겨도 전체 제품이 폐기되어 버립니다.
우리는 단파 적외선 가열이 최적의 방법이라는 것을 알아냈습니다. 왜냐하면 이 방식은 웨이퍼 주변의 공기를 데우는 데 에너지를 낭비하지 않습니다. 에너지가 직접 기판에 전달되기 때문입니다. 이것이 바로 에너지 비용과 탄소 배출량을 줄이는 비결입니다.
핵심은 밀도에 있습니다.
생각해보세요. 고출력 적외선 램프를 사용하면 몇 초 만에 목표 온도에 도달할 수 있습니다. 분이 아니라, 초죠.
그렇게 되면 기계가 예열되는 동안 시간과 에너지를 낭비하는 일이 없어집니다. 우리는 실리콘이 흡수하기 쉬운 특정 파장대를 선택하여 에너지를 정확하게 전달합니다. 에너지는 필요한 곳에만 전달되고, 챔버 벽으로는 전달되지 않습니다.
하지만 단점도 있습니다.
열이 사방으로 퍼지는 것을 막기 위해 석영 케이스와 정밀한 반사체를 사용하여 광선을 집중시킵니다. 이 방식은 매우 효과적이지만, 마치 고성능 엔진을 사용하는 것과 같아서 램프 필라멘트에 큰 부담이 갑니다.
전압이 조금이라도 변동한다면, 램프가 예상보다 훨씬 빨리 고장날 수 있습니다. 장비가 오랫동안 사용되려면 안정적인 전력 공급이 필요합니다.
“친환경 공장” 목표 달성에 도움이 됩니다.
구식 저항식 가열 방식 대신 정밀한 적외선 가열 방식을 사용하면 지구에 큰 도움이 됩니다. 이제는 불필요하게 공기를 데우는 데 에너지를 낭비하는 대형 오븐들을 사용할 필요가 없습니다.
모든 과정이 더 빨라집니다. 작업 시간이 줄어들고, 전기 요금도 낮아집니다. 또한 공장의 냉각 시스템도 그다지 열심히 작동할 필요가 없습니다.
이것은 진정한 윈-윈 상황입니다. 탄소 중립 목표를 달성할 수 있으면서도 생산 속도를 늦출 필요도 없습니다.

MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

Fri, 10 Jul 2026 02:12:43 +0800

MEMS 웨이퍼 건조에 있어서 뜨거운 공기 대신 적외선을 사용하는 방식
오랫동안 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 가장 일반적인 방법은 뜨거운 공기를 웨이퍼 위로 불어주는 것이었습니다. 이는 구식의 방법입니다. 기본적으로 대류 현상을 이용해 열을 웨이퍼 표면으로 전달시키고, 그를 통해 수분이 증발하기를 기대하는 것입니다.
문제점은 이 방법이 매우 느리다는 것입니다. 웨이퍼 내부의 좁은 공간이나 미세한 구조들까지 열이 도달하기까지 몇 분이나 걸립니다. 이는 생산 속도를 크게 저하시키는 요소입니다.
그래서 우리는 적외선을 이용한 가열 방식으로 전환했습니다. 공기를 가열하는 대신, 에너지를 직접 웨이퍼로 전달하는 것입니다.
왜 훨씬 빠른가요?
적외선은 물 분자를 직접 타격합니다. 에너지가 작용하면 물분자가 즉시 증발합니다. 근본적으로 거의 순간적으로 처리됩니다.
더 이상 공기를 순환시키는 데 시간을 낭비할 필요가 없습니다. 이제는 천천히 움직이는 대신 빠르게 움직일 수 있습니다. 실제 생산 라인에서는 “몇 분”이 걸리던 작업이 몇 초로 줄어듭니다. 이는 생산 속도 면에서 큰 이점입니다.
문제점들
물론, 단순히 히터를 램프로 바꾸는 것만으로는 안 됩니다. 적외선은 매우 강력한 에너지를 가지고 있습니다. 만약 램프의 위치가 잘못되거나 전력이 너무 높으면 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 따라서 안정적인 PID 제어기가 필요합니다.
보통 우리는 단파 적외선 송신기를 사용합니다. 이를 통해 웨이퍼 표면을 효과적으로 가열할 수 있으며, 전체 기판이 과열되는 것을 방지할 수 있습니다.
하드웨어의 성능 활용하기
공간 활용도도 달라집니다. 적외선 램프는 견고한 공기 순환 장치나 관련 부품들보다 훨씬 적은 공간을 차지합니다.
하지만 전력에 주의해야 합니다. 팬 모터 대신 고출력 램프를 사용하기 때문입니다. 시스템이 작동할 때 발생하는 초기 전력 부하를 감당할 수 있는 전원 공급 장치가 필요합니다.
MEMS 생산 규모를 확대할 때, 웨이퍼당 몇 초라는 시간 절약은 하루 종일 엄청난 이점으로 이어집니다. 생각 방식만 바꾸면 되는 것입니다. 공기를 움직이는 대신 광자를 이용하는 것입니다.

수소 센서 제조용 히터

Thu, 09 Jul 2026 14:13:04 +0800

수소 센서 히터: QC 과정에서 안전을 보장하는 고전압 솔루션
우리는 수소 센서에 사용되는 가열 요소를 제작합니다. 그렇기 때문에 이 분야에서의 신뢰성이 매우 중요합니다. 출하되는 모든 센서는 엄격한 전기 안전 검사를 거쳐야 합니다. 즉, 100%의 절연 내력 및 절연 저항 테스트를 통과해야 합니다.

웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

Sat, 27 Jun 2026 02:06:08 +0800

팹에서는, 베이킹 온도가 0.5도만 변해도 치명적인 오차가 발생하여 제품의 품질이 떨어지고 결국 폐기되는 경우가 있습니다. 수율을 관리하는 것은 운에 맡길 수 없습니다. 공정 자체가 요구하는 수준보다 더 엄격하게 온도를 제어함으로써만 수율을 관리할 수 있습니다. 우리는 바로 이러한 현실을 고려하여 온도 센서를 설계했습니다.

바이오 센서 제작 적외선 램프

Mon, 01 Jun 2026 00:18:28 +0800

라인에서는 리듬이 끊임없이 이어진다. 바이오센서 웨이퍼가 코팅에서 노광으로, 그리고 베이크 트랙으로 흐른다. 포토레지스트는 항상 정확한 온도에서 도포되어야 하며, 그 허용 범위는 매우 좁다. 몇 도의 온도 편차나 필드 내 핫스폿 발생은 선폭 제어를 잃게 하고, 필름에 스트레스를 가하거나, 더 심하면 수율을 저해하는 입자를 발생시킨다. 적외선 가열은 단순한 선택사항이 아니라 공정의 열적 심장 박동과 같다. 그 박동이 일정할 때 라인은 계속 움직이고, 불안정하면 불량 웨이퍼와 작업 시간 손실로 이어진다.