오존이 없는 적외선 램프

기계를 가열하는 것을 그만두고 웨이퍼를 직접 가열해보세요. 대부분의 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출합니다. 즉, 360도 전방위로 열이 퍼집니다. 반도체 장비를 사용할 때 이는 큰 문제가 됩니다. 그 에너지의 상당 부분은 웨이퍼에 전혀 닿지 않고, 오히려 기계...