http://warm-ir-heater-craft.com/ko/tags/%EA%B7%B9%EB%8B%A8%EC%A0%81%EC%9D%B8/ Recent content in 극단적인 on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo ko Wed, 01 Jul 2026 07:57:07 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ko/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Wed, 01 Jul 2026 07:57:07 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ko/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="극자외선(EUV) 리지스트 가열기 부품들"></p> <p>리소그래피 공정에서는 EUV 레지스트 처리 시 열 변동을 용납할 수 없습니다. 소프트 베이크 과정에서 온도가 조금이라도 높아진다면, 하드 베이크 과정에서는 웨이퍼 전체에 걸쳐 온도가 불균일해집니다. 그 결과 생산성이 점차 감소하게 됩니다. 이러한 문제는 조용히, 그리고 반복적으로 발생합니다. 레지스트 아래에 있는 히터는 반복적인 작업에도 일관된 온도를 유지해야 하며, 입자가 생기거나 가동 중단이 발생해서는 안 됩니다.</p>