코팅기 개발용 적외선 히터
리소그래피 공정에서는 단 0.2°C라는 미세한 온도 변화만 있어도 CD 값이 변하고, 웨이퍼의 품질에 악영향을 미쳐 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 코팅/현상 장비의 경우, 웨이퍼가 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정을 거치는 동안 일정한 온도가 유지되어야 합니다....
박막 태양전지 건조용 램프
박막 태양전지의 경우, 열 변동의 여지가 거의 없습니다. 포토레지스트를 소성할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 생겨도 스트레스가 발생하고, 재융해 과정에 영향을 미쳐 장치의 효율이 저하됩니다. 따라서 온도를 단순한 추측이 아닌, 정밀하게 제어되는 변수로 다루는 건조기...
웨이퍼 처리 장비용 온도 센서
팹에서는, 베이킹 온도가 0.5도만 변해도 치명적인 오차가 발생하여 제품의 품질이 떨어지고 결국 폐기되는 경우가 있습니다. 수율을 관리하는 것은 운에 맡길 수 없습니다. 공정 자체가 요구하는 수준보다 더 엄격하게 온도를 제어함으로써만 수율을 관리할 수 있습니다. 우리...
TEL (토쿄일렉트론) 히터 램프
라인상에서는 열 드리프트가 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신 0.3μm의 선폭 오차나, 포토레지스트 가장자리의 문제, 혹은 패키징 과정에서 발생하는 변형 등의 형태로 나타납니다. 웨이퍼 건조 과정, 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정, 그리고 패키징...
거실용 히터
오프그리드형 거실에서는 등유 냄새가 단순한 성가신 문제가 아닙니다. 그 냄새는 공기 중의 입자들과 함께 남아 있으며, 공기 속의 산소도 줄어듭니다. 전력이 끊기면 방 안은 금방 습하고 조용해집니다. 이로 인해 생기는 두통도 단순한 불편함을 넘어서는 문제입니다. 우리는...
DNS(스크린) 웨이퍼 건조용 램프
리소그래피 공정에서는, 그 300mm 웨이퍼가 DNS 세척기에서 나온 직후 사진감광제를 도포하기 위해 대기 상태에 있습니다. 이 공정에서는 ±0.5°C의 온도 변동조차 허용되지 않으며, 클린룸 내에는 불필요한 입자들도 존재해서는 안 됩니다. 온도가 조금이라도 변하면...
중국 전기 히터 공급업체
겨울철에 제품을 구매할 수 있는 기간은 짧으며, 고객들은 신뢰할 수 있는 난방 시스템을 원합니다. 저녁이 되면 기온이 급격히 떨어지기 때문에, 즉시 작동하고 안정적으로 열을 공급하며 에너지를 효율적으로 사용하는 파티오 히터는 단순한 추가 장비가 아닌 필수품입니다. 이...
타워 히터
저녁이 되어 주변 온도가 낮아지면, 사람들은 즉시 따뜻함을 원합니다. 5분 후에 따뜻해진다고 해서는 안 됩니다. 그래서 우리는 빠르게 반응하는 핵심 부품을 사용하여 이 인프라레드 히터를 만들었습니다. 이를 통해 작은 거실이든, 지붕이 있는 파티오든 어디에서든 빠르게...
CMP 후 웨이퍼 건조 히터
CMP 공정 이후에도 워터마크나 입자가 다시 쌓이는 문제로 인해 생산성이 저하됩니다. 대부분의 경우, 그 원인은 건조 과정에서의 불안정한 온도 변화 때문입니다. 우리는 이러한 변수들을 제거하기 위해 CMP 이후의 웨이퍼 건조용 히터를 개발했습니다.
기술적으로 중요한...
웨이퍼 세척 건조기용 석영 히터
팹 내에서는 리인스 드라이어가 클린 공정과 리소그래피 공정 사이에 위치해 있습니다. 단 0.5°C만의 온도 변동도 웨이퍼에 워터마크를 남길 수 있으며, 더 심각한 경우에는 하드 베이크 과정 이후 포토레지스트가 재유동될 수도 있습니다. 우리는 바로 이러한 리인스 드라이...
반도체 소자 특성 분석용 히터
생산 과정에서 온도는 단순한 제안이 아니라, 반드시 준수해야 하는 요소입니다. 포토레지스트를 부드럽게 가열하는 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변화가 있어도, 치명적인 결함이 발생할 수 있습니다. 대량 생산 환경에서는 이러한 온도 변화가 이론상의 문제에 그치지 않고 실...
배드야드 히터
밤이 찾아오고, 그릴에서는 여전히 열기가 나고 있습니다. 대화도 점점 활발해집니다. 하지만 서서히 추위가 몰려오면 사람들은 별을 보는 대신 시계를 쳐다보게 됩니다. 여기서는 편안함이 밤을 더욱 즐겁게 만드는 요소입니다. 또 다른 이야기를 나누거나, 모두가 일찍 안으로...
파티오 히터를 대량으로 구매하기
오지에서 해가 지고 나면, 편안함은 과연 얼마나 많은 전력을 공급할 수 있는지에 달려 있습니다. 야외에서의 조용한 밤도, 날씨가 추워지고 배터리 용량이 줄어들면 금방 불편해집니다. 바로 이런 상황에서 적외선 전기 히터가 유용해집니다. 적외선 히터는 공기 전체를 따뜻하...
반도체 웨이퍼 프로브 히터
공정 현장에서 웨이퍼 프로빙 중 발생하는 한 번의 온도 편차는 단순히 사이클 타임만 지연시키는 것이 아니다. 그것은 다이를 폐기 처리하게 만들고, 수율에 큰 타격을 주며, 라인의 정확성을 유지하기 위한 규율을 무너뜨린다. 웨이퍼 프로브 히터는 미세 입자를 배출하지 않...
X선 회절(XRD) 가열 램프
측정실에서는 XRD 판독값이 스테이지의 열적 안정성만큼 신뢰할 수 있다. 0.5°C의 온도 변동은 격자 상수 결과에 영향을 미치며, 이는 웨이퍼를 재작업으로 보내고 리소그래피 베이크 공정을 규격 밖으로 벗어나게 만드는 원인이 된다. 우리는 이러한 불확실성을 발생 초기...