http://warm-ir-heater-craft.com/ja/tags/euv/ Recent content in EUV on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo ja Wed, 01 Jul 2026 07:57:07 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Wed, 01 Jul 2026 07:57:07 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="極端紫外線 EUV レジストヒーター部品"></p> <p>リソグラフィーの工程において、EUVレジストの処理では、温度変動が許されません。ソフトベイクの際に温度が少し高くなっても、ハードベイクの際にウェーハ全体の温度がばらついても、生産性は低下してしまいます。このような問題は静かに進行し、繰り返し発生します。レジストの下にあるヒーターは、粒子を発生させたり、停止時間を増やしたりすることなく、シフトごと、ロットごとに安定した温度を維持しなければなりません。</p>