http://warm-ir-heater-craft.com/ja/tags/%E8%A1%A8%E7%A4%BA/ Recent content in 表示 on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo ja Fri, 05 Jun 2026 01:52:16 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/flexible-display-drying-lamp-fab/ Fri, 05 Jun 2026 01:52:16 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/flexible-display-drying-lamp-fab/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="フレキシブルディスプレイ乾燥ランプファブ"></p> <h1 id="フレキシブルディスプレイラインにおける熱制御の重要性">フレキシブルディスプレイラインにおける<a href="https://o-yate.net">熱制御</a>の重要性</h1> <p>フレキシブルディスプレイラインでは、熱制御が重要な<a href="https://henruite.com">要素</a>となります。たとえば、2°Cの変動があるソフトベークはCDの均一性を損ないます。温度が高すぎるまたは低すぎるハードベークは、レジストプロファイルを予測不可能にし、エッチング転送が不均一になります。乾燥ランプは単なる熱源ではなく、適切なプロセス機器として機能する必要があります。</p> <h1 id="内部で重要なこと">内部で重要なこと</h1> <p>私たちは、迅速かつ非接触加熱のために石英光学系を用いて、NIRをベースにした乾燥ランプを構築しました。照射領域全体で、ウェハーレベルの均一性は±0.1°Cを維持し、すべてのソフトベークとハードベークが同じ熱バジェットを持ちます。クリーンルームクラス1–100に設計されており、安定運転下での低アウトガスとゼロ粒子生成を実現しています。このランプは、予測可能な出力で24時間365<a href="https://o-yate.com">日稼働可能</a>で、ロットごとの再現性を保持します。</p>