石英 on Handcrafted Warm IR Heaters

ファブラーデ装置用クォーツガラスシールド

Sun, 26 Jul 2026 15:10:13 +0800

なぜクォーツ製のシールドを持つ赤外線ランプがファブで重要なのか
もし、半導体の加工に依然として熱風循環方式を利用しているのであれば、それはまるで待つしかない状況です。ワークピースが温まり始める前に、チャンバ内の空気全体を加熱しなければなりません。これは非常に時間がかかり、面倒な作業です。

一方、赤外線加熱に切り替えると、状況は変わります。ファンによって熱い空気を送り込むのではなく、電磁波を直接基板に当てるのです。これは、ヒーターで部屋を暖めるのと、太陽の下に立つのとの違いに似ています。瞬時に熱を感じることができます。

秘密はクォーツにあります。
私たちは、ランプの周囲にクォーツガラス製のシールドを使用します。その理由はいくつかあります。第一に、加熱要素を汚れや処理用ガスから守るためです。しかし何よりも重要なのは、クォーツが短波長の赤外線を透過させるという点です。

ファブレーションオーブン用の石英ヒーター管

Tue, 30 Jun 2026 02:13:13 +0800

ファブ内では、フォトレジストの焼成は単なるアドバイスではなく、必須のプロセスです。ソフトベイクやハードベイクの温度が2°C変動するだけで、製品の寸法に影響が出たり、不純物が残ったりして、多くの製品が廃棄処分になってしまいます。石英ヒーターチューブこそが、シフトを重ねても一定の温度を維持するための重要な要素です。

ウエハー洗浄乾燥機用クォーツヒーター

Sat, 20 Jun 2026 02:45:02 +0800

製造ライン上では、リンス・ドライヤーはクリーニング工程とリソグラフィ工程のちょうど中間に位置しています。たとえ0.5℃程度の温度変動でも、ウェーハに水跡が残ったり、最悪の場合、ハードベイク後にフォトレジストが流れ出してしまったりする可能性があります。私たちは、このリンス・ドライヤー用に特別に設計された石英ヒーターを開発しました。ここでは、熱応答性、清潔度、再現性が歩留まりを左右します。

技術的に重要な点 その核心部分は、迅速に温度を調整できる短波長の石英赤外線放射体です。ウェーハ全体での温度均一性を±0.1℃以内に保ち、50℃から250℃までの範囲で安定した設定値を実現し、2秒以内に反応させることができます。ループ制御により、エッチやCMPの後に繊細な構造が損傷することがありません。本体は超高純度の石英で、クリーンルームのクラス1～100に適しています。表面は粒子の発生を抑えるように設計されており、24時間365日連続して動作しても、再校正が必要になるような温度変動はありません。