http://warm-ir-heater-craft.com/ja/tags/%E7%94%BB%E9%9D%A2/ Recent content in 画面 on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 01:35:47 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 01:35:47 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="DNS スクリーン ウェーハ乾燥ランプ"></p> <p>リソグラフィー工程では、その300mmウェーハはDNSクリーナーから取り出された後、フォトレジストの硬化処理を待っている<a href="https://goldisgood.com">状態</a>になります。この工程では、±0.5℃の温度変動も許されず、またクリーンルーム内には余分な粒子も<a href="https://o-yate.net">存在</a>してはなりません。もし温度がわずかにでも変動すれば、CD精度が失われ、<a href="https://o-yate.com">結果</a>として歩留まりも低下してしまいます。</p> <h2 id="赤外線加熱の精度サブミリメートル級の均一性と再現性">赤外線加熱の精度：サブミリメートル級の均一性と再現性</h2> <p>DNSスクリーンウェーハドライヤーのランプは、一般的なフォトレジストがどのように光を吸収するかに合わせて調整された短波長の赤外線放射体を使用しています。これにより、ウェーハ面全体でサブミリメートル級の温度均一性が実現され、ソフトベイクやハードベイクの際にも温度を厳格な範囲内に保つことができます。閉ループ制御により、所定の温度が維持されるため、毎回同じ条件で処理が行えます。</p>