http://warm-ir-heater-craft.com/ja/tags/%E3%82%AF%E3%83%AA%E3%83%BC%E3%83%B3/ Recent content in クリーン on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 01:51:05 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/clean-room-infrared-heater/ Sun, 07 Jun 2026 01:51:05 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/clean-room-infrared-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="クリーンルーム用赤外線ヒーター"></p> <p>ファブフロアでは、フォトレジストベーク中の0.5℃のドリフトでさえ、クリティカル寸法がナノメートル単位でずれ、パーティクル数の増加を引き起こします。当社のクリーンルーム用赤外線ヒーターは、そのドリフトを根本から抑制するために設計されています。ウェーハ上の熱プロファイルに直接追従し、チャンバー内の<a href="https://o-yate.com">空気温</a>ではなくウェーハ温度をロックするため、ソフトベークおよびハードベークを先端リソグラフィの温度管理予算内に維持します。</p>