http://warm-ir-heater-craft.com/ja/tags/%E3%81%99%E3%81%99%E3%81%90/ Recent content in すすぐ on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo ja Mon, 13 Jul 2026 18:14:12 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ Mon, 13 Jul 2026 18:14:12 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="洗浄用の防水型赤外線ランプ"></p> <p>なぜ赤外線硬化法が無鉛半導体製造に最適なのか<br> 正直に言えば、溶剤を使用した乾燥法はもう時代遅れです。完全にラインのスピードを落とすことなく、「無鉛」や「環境に優しい」という目標を達成したいのであれば、おそらく赤外線ランプを検討しているはずです。特に、洗浄工程用に設計された防水タイプのものです。</p> http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/quartz-heater-for-wafer-rinse-dryer/ Sat, 20 Jun 2026 02:45:02 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/ja/posts/quartz-heater-for-wafer-rinse-dryer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ウエハー洗浄乾燥機用クォーツヒーター"></p> <p>製造ライン上では、リンス・ドライヤーはクリーニング工程とリソグラフィ工程のちょうど中間に位置しています。たとえ0.5℃<a href="https://o-yate.net">程度</a>の温度変動でも、ウェーハに水跡が残ったり、最悪の場合、ハードベイク後にフォトレジストが流れ出してしまったりする可能性があります。私たちは、このリンス・ドライヤー用に特別に設計された石英ヒーターを開発しました。ここでは、熱応答性、清潔度、再現性が歩留まりを左右します。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> その核心部分は、迅速に温度を調整できる短波長の石英赤外線放射体です。ウェーハ全体での温度均一性を±0.1℃以内に保ち、50℃から250℃までの範囲で安定した設定値を実現し、2秒以内に反応させることができます。ループ制御により、エッチやCMPの後に繊細な構造が損傷することがありません。本体は超高純度の石英で、クリーンルームのクラス1～100に適しています。表面は粒子の発生を抑えるように設計されており、24時間365日連続して動作しても、再校正が必要になるような温度変動はありません。</p>