Lampada di riscaldamento per diffrazione a raggi X (XRD)

Tue, 09 Jun 2026 01:32:03 +0800

Sulla linea di metrologia, una lettura XRD è affidabile solo quanto la stabilità termica del piano di misura. Uno scostamento di 0,5°C modifica i risultati dei parametri reticolari, e questo è un modo semplice per mandare in rilavorazione i wafer e compromettere i bake litografici fuori specifica. Abbiamo progettato la nostra lampada di riscaldamento XRD per ridurre al minimo questa incertezza proprio all’origine.

Cosa conta sotto il cofano
La lampada utilizza elementi a infrarossi a onda corta all’interno di un involucro in quarzo, quindi il calore viene trasferito direttamente al chuck con una massa termica ridotta. Il controllo è a circuito chiuso, con un sensore calibrato mappato sull’intera zona riscaldata. Si ottiene uniformità a livello wafer entro ±0,1°C nell’area di misura e ripetibilità che mantiene lo stesso setpoint ciclo dopo ciclo, anche dopo migliaia di misurazioni. La densità di potenza è tarata per salire rapidamente senza overshoot, e la potenza rimane stabile in funzione 24/7 grazie alla gestione controllata del duty cycle.

X on Handcrafted Warm IR Heaters

Lampada di riscaldamento per diffrazione a raggi X (XRD)