Sensore di temperatura per strumento per wafer

Sat, 27 Jun 2026 02:06:08 +0800

Nelle linee di produzione, anche un leggero cambiamento nella temperatura di cottura, pari a mezzo grado, può far variare le dimensioni critiche dei componenti prodotti di alcuni nanometri, trasformando così prodotti di qualità in scarti. Non si può gestire il tasso di produttività affidandosi alla fortuna: è necessario mantenere un controllo termico estremamente preciso, superiore a quanto richiesto dal processo stesso. Abbiamo progettato il nostro sensore proprio per affrontare questa realtà.

Cosa conta, dal punto di vista tecnico
Chiediamo una stabilità di ±0,1°C nell’intero intervallo di temperatura utilizzato nel processo di trattamento dei fotoreagenti, poiché le tolleranze richieste dalla litografia rientrano proprio in quest’intervallo. Il sensore è compatibile con ambienti puliti di classe 1–100 e viene progettato per non generare alcuna particella, in modo da non compromettere la pulizia dell’ambiente di lavoro. Funziona 24/7, con una durata di vita progettata per evitare interruzioni non pianificate; inoltre, fornisce dati con elevata ripetibilità, fondamentali per il controllo statistico del processo.

Temperatura on Handcrafted Warm IR Heaters

Sensore di temperatura per strumento per wafer