
Smettete di riscaldare la macchina stessa e iniziate invece a riscaldare il wafer. La maggior parte delle lampade a infrarossi emette calore in tutte le direzioni, cioè a 360 gradi. Quando si lavora con attrezzature per semiconduttori, questo rappresenta un problema. Una grande quantità di energia non arriva nemmeno a contatto con il wafer; invece, colpisce le pareti interne della macchina. Il risultato? Un chassis talmente caldo da poter bruciare la mano dell’operatore, e ventilatori che devono funzionare a pieno regime per evitare che tutto si sciolga. È uno spreco di energia.
Mettere il calore dove è davvero necessario
Per risolvere questo problema, utilizziamo tecnologie a infrarossi prive di ozono. Grazie all’uso di rivestimenti e riflettori specifici, riusciamo a concentrare i raggi infrarossi in un fascio diretto verso il bersaglio desiderato. In questo modo, il calore viene concentrato esclusivamente sul wafer. Così, non si spreca energia per riscaldare l’aria e la struttura metallica dell’attrezzo.
L’ozono: un problema da evitare
Le lampade a onde corte tradizionali producono ozono, che rappresenta un problema per le superfici sensibili dei semiconduttori e può danneggiare i componenti meccanici dell’attrezzo. I nostri tubi eliminano questo prodotto chimico prima ancora che possa essere generato.
I vantaggi e gli svantaggi
Quando si concentra tutto quel calore in un unico punto, la densità termica aumenta notevolmente. Anche se le pareti della macchina rimarranno fredde, l’area interessata dal calore sarà molto più calda. È quindi importante verificare correttamente i controller PID. Se non vengono calibrati correttamente, si potrebbe superare la temperatura desiderata. Inoltre, se si intende aggiornare un sistema vecchio, bisogna assicurarsi che i supporti di montaggio siano fatti di materiali resistenti al calore.
Un ambiente di lavoro migliore per gli operatori
Passando a sistemi di riscaldamento direzionale, si elimina completamente il problema legato alle pareti troppo calde. Gli operatori possono lavorare più vicino all’attrezzo senza rischi di ustioni. Inoltre, l’interno dell’attrezzo rimane più fresco. Questo è un vantaggio per tutti gli altri componenti elettronici, che non devono più sopportare temperature estreme per svolgere il proprio lavoro.