सेमी-फैब्रिकेशन प्रक्रिया में आईआर हीटरों के लिए सही वायरिंग का चयन करना आवश्यक है।
यदि हम वास्तव में सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में कार्बन उत्सर्जन को कम करना चाहते हैं, तो हमें पुराने रेजिस्टिव ओवनों पर निर्भर रहना बंद करना होगा। ऐसे ओवन बहुत अधिक ऊर्जा खपत करते हैं। प्रीसिजन इन्फ्रारेड हीटिंग ही सही विकल्प है; क्योंकि इसमें विकिरण के द्वारा ही तापन होता है, न कि पूरे कमरे को गर्म किया जाता है।
लेकिन एक समस्या है… इन्फ्रारेड हीटिंग के लिए वायरों को अत्यधिक गर्मी का सामना करना ही पड़ता है। इसीलिए हम टेफ्लॉन (PTFE) से बनी वायरिंग का ही उपयोग करते हैं।
टेफ्लॉन का उपयोग क्यों किया जाता है?
सामान्य PVC या सिलिकॉन वायर इसके लिए उपयुक्त नहीं हैं… ऐसे वायर इन्फ्रारेड लैंप के निकट आते ही पिघल जाते हैं। लेकिन टेफ्लॉन अलग है… यह 260°C तापमान पर भी ठोस ही रहता है।
सेमी-फैब्रिकेशन प्रक्रिया में जगह बहुत कम होती है… ऐसी स्थिति में वायरों को गर्मी से बचाना आवश्यक है। टेफ्लॉन के उपयोग से वायरों को गर्मी से बचाया जा सकता है।
टेफ्लॉन वायरिंग के फायदे/नुकसान
इन्फ्रारेड हीटिंग के उपयोग से कारखाने में बहुत अधिक ऊर्जा बचत होती है… लेकिन यह गर्मी एक ही जगह पर केंद्रित हो जाती है। यदि उच्च-वॉटेज वाले इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग किया जाए, तो वायरों पर बहुत दबाव पड़ता है।
वायरों को गर्म न होने देने हेतु, हम टेफ्लॉन के आवरण के नीचे चाँदी से लेपित तांबे के तारों का ही उपयोग करते हैं… ऐसा करने से विद्युत प्रतिरोध कम रहता है।
लेकिन ध्यान रखें… टेफ्लॉन, सिलिकॉन की तुलना में कठोर होता है… इसे तंग जगहों में लगाने से वायर टूट सकता है… इसलिए वायरों को सही तरीके से ही लगाना आवश्यक है।
“ग्रीन” कारखानों के लिए यह बहुत ही महत्वपूर्ण है…
अधिकांश “ग्रीन” पहलों का लक्ष्य ऊर्जा का कुशल उपयोग है… इन्फ्रारेड सिस्टम ठीक यही करता है… यह केवल वेफर को ही गर्म करता है, पूरे कमरे को नहीं।
उच्च-तापमान वाले टेफ्लॉन वायरों के उपयोग से पूरा सिस्टम लंबे समय तक काम करता है… ऐसे में वायरों को बार-बार बदलने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती… कम रिप्लेसमेंट पार्ट्स एवं कम ऊर्जा खपत के कारण कारखाने का संचालन आसान हो जाता है।
सही वायरिंग के उपयोग से थर्मल क्षति के कारण होने वाला निरंतर डाउनटाइम भी रुक जाता है… यह तो उपकरणों के लिए भी अच्छा है, और पृथ्वी के लिए भी।