מחמם אינפרא אדום ליישום חומר הציפוי
בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של רק 0.2°C בטמפרטורה עלול לגרום לשינוי במידות CD, לבעיות בהדבקת החומר על הוואפר, ולירידה מהירה באיכות התוצרת. לכן, למכשירי...
מנורת ייבוש לתאי שמש בעלי שכבה דקה
במערכות סולאריות בעלות שכבות דקות, אין מקום לשינויים תרמיים. שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום עלול לגרום לשינוי בלחצים, לשינוי בתהליך ההתכה של...
חיישן טמפרטורה לכלי עבודה על שבבים
בחדר הייצור, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה יכול לגרום לשינויים של ננומטרים בממדים החשובים של החומרים המשמשים בתהליך הייצור – דבר שעלול להפוך את...
TEL (Tokyo Electron) – למפה של חימום
במהלך התהליך, השינויים התרמיים אינם מופיעים כאור התרעה. הם מתבטאים בשגיאה של 0.3 מיקרומטר ברוחב הקו, בקצוות הפוטורזיסט שנהיים לא אחידים, או בעיוות של...
מחמם אוויר לסלון
בחדרי מגורים שאינם מחוברים לרשת החשמלית, ריח הנפט אינו רק מטרד – זהו גם חומרים מזהמים, ריח לא נעים, וכן גם גרימה להפחתת רמת החמצן באוויר. כאשר החשמל...
מנורת ייבוש שבבי DNS (Screen)
בחדר הנקי, הוופר בגודל 300 ממ יוצא ממכשיר הניקוי DNS, ומחכה שייעשה בו טיפול באמצעות חומר פוטורזיסט. המכונה אינה יכולה לסבול שינויי טמפרטורה של ±0.5...
ספק מחממים חשמליים בסין
תקופת הרכישה בחורף היא קצרה, והלקוחות רוצים מערכת חימום שאפשר לסמוך עליה. כשהלילות נהיים קרים, מערכת חימום שנדלקת מיד, שומרת על טמפרטורה קבועה וצורכת...
חיממן למגדלים
כשהערב נהיה קר, אנו רוצים חימום מיידי – לא רק תוך חמש דקות. לכן יצרנו את החימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום, שמאפשר חימום מהיר, בין אם מדובר בחדר...
מחמם לייבוש שבבים לאחר תהליך CMP
בשלב הייבוש לאחר תהליך CMP, סימני מים והצטברות של חלקיקים עדיין פוגעים באיכות המוצר הסופי. ברוב המקרים, הגורם לבעיה הוא פרופיל תרמי לא יציב במהלך...
חיממן מקוורץ לייבוש ושטיפת שבבים
בחדר הייצור, מכשיר השטיפה והייבוש נמצא ממש בין שלב הניקוי לשלב ההדפסה. שינוי טמפרטורה של אפילו 0.5°C עלול לגרום להיווצרות “סימני מים” על הוופר – או,...
מחמם לאופיינו של מכשירי חצי מוליכים
בתהליך הייצור, הטמפרטורה אינה עוד גורם שניתן לשנותו – היא חלק בלתי נפרד מהתהליך עצמו. שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום...
מחמם לחצר האחורית
הלילה יורד, הגריל עדיין חם, והשיחות נמשכות. אך אז מגיע הקור, ואנשים מתחילים להסתכל על השעונים שלהם במקום על הכוכבים. כאן, הנוחות היא מה שמאפשר ללילה...
רכישה בכמויות גדולות של מחממי חצר
כאשר השמש שוקעת מתחת לאופק במקום ללא חיבור לרשת החשמלית, הנוחות תלויה בכמות הוואטים שאפשר להשאיר ברשותנו. לילה שקט בטרסה יכול להפוך לבלתי נסבל מהר...
מחמם גלאי מיקרוצ׳יפ סיליקוני
Out on the fab floor, one temperature excursion during wafer probing doesn’t just burn cycle time. It scraps die, hammers yield, and breaks the...
מנורת חימום לדיפרקציית קרני רנטגן (XRD)
ברצפת המטולוגיה, קריאת XRD היא יציבה רק כל עוד היציבות התרמית של הבמה נשמרת. סטייה של 0.5°C תשנה את תוצאות פרמטר הרשת, וזוהי דרך פשוטה לשלוח וופרים...