http://warm-ir-heater-craft.com/fa/tags/cmp/ Recent content in CMP on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo fa Sun, 21 Jun 2026 03:02:49 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/fa/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Sun, 21 Jun 2026 03:02:49 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/fa/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="هیتر خشککن ویفر پس از CMP"></p> <p>در مرحله خشک کردن ویفرها پس از فرآیند CMP، وجود نشانه‌های آبی و تجمع ذرات همچنان باعث کاهش کیفیت محصول می‌شود. اغلب، عامل اصلی این مشکل، ناپایداری در الگوهای حرارتی در حین خشک کردن است. ما هیترهای مورد استفاده برای خشک کردن ویفرها را به گونه‌ای طراحی کرده‌ایم که این ناپایداری‌ها را از بین ببرند، نه اینکه آن‌ها را تشدید کنند.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟</strong><br> ما از عناصر مادون قرمز کوتاه‌امواج در پشت پنجره کوارتزی استفاده می‌کنیم؛ بنابراین انرژی مستقیماً و به سرعت به ویفر برخورد می‌کند، بدون اینکه به سطح زیرین ویفر آسیبی برسد. در کل منطقه فعال، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌شود؛ همچنین، کنترل دقیق دما باعث می‌شود که انحرافات دما به حداقل برسد. این دستگاه برای اتاق‌های تمیز در کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، مواد و درزبندهای مورد استفاده به گونه‌ای انتخاب شده‌اند که ایجاد ذرات در حین فرآیند خشک کردن صفر باشد.</p>