http://warm-ir-heater-craft.com/fa/tags/%D8%A7%D9%81%D8%B1%D8%A7%D8%B7%DB%8C/ Recent content in افراطی on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo fa Wed, 01 Jul 2026 07:57:07 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/fa/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Wed, 01 Jul 2026 07:57:07 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/fa/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="قطعات گرمکن مقاومت نور فرابنفش اکستریم (EUV)"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، استفاده از رزیست‌های EUV نیازمند دقت بالا در کنترل دماست؛ هرگونه تغییر دما می‌تواند باعث کاهش کیفیت محصول شود. قطعات گرمایشی موجود در زیر رزیست باید دمای یکنواختی را در سراسر سطح ویفر فراهم کنند، بدون اینکه ذراتی تولید شود یا تأخیر در عملکرد دستگاه ایجاد شود.</p> <p><strong>چه چیزهایی اهمیت دارد؟</strong><br> ما از منابع مادون قرمز کنترل‌شده برای گرم کردن رزیست‌های EUV استفاده می‌کنیم؛ این منابع شامل موج‌های کوتاه و متوسط هستند. همچنین از پنجره‌های کوارتزی و عناصر هالوژنی برای تولید سیگنال‌های طیفی پایدار استفاده می‌شود. در نتیجه، دمای سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند؛ همچنین الگوهای گرمایشی نیز در محدوده مشخصی تکرار می‌شوند. این دستگاه برای استفاده در اتاق‌های تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ مواد و روکش‌های مورد استفاده نیز به گونه‌ای انتخاب شده‌اند که در طول عملکرد، هیچ ذره‌ای تولید نشود. توان خروجی دستگاه نیز مطابق با استانداردهای مشخص شده است؛ همچنین گزینه‌های اتصال نیز با سیستم‌های موجود سازگار هستند، بنابراین نیازی به تغییرات در سیستم‌های الکتریکی نیست.</p>