Lámpara secadora de obleas DNS (Screen)

Wed, 24 Jun 2026 01:35:47 +0800

En la sala de litografía, esa oblea de 300 mm acaba de salir del limpiador DNS y espera ser sometida al proceso de secado con fotoreactivos. La línea de producción no puede tolerar variaciones de temperatura de ±0.5 °C, y la sala limpia tampoco puede permitir la presencia de partículas adicionales. Si el perfil térmico varía aunque sea un poco, se pierde el control sobre la calidad de la producción.

Precisión en el calentamiento por infrarrojos: uniformidad y repetibilidad a nivel submilimétrico
La lámpara utilizada para secar las obleas en los módulos DNS está diseñada con emisores de infrarrojos de onda corta, ajustados para que se adapten a la forma en que absorben la luz los fotoreactivos. Esto permite lograr una uniformidad térmica a nivel submilimétrico en toda la superficie de la oblea, además de una precisión en el control de la temperatura, lo que asegura que esta se mantenga dentro de los rangos establecidos durante tanto el proceso de secado suave como el duro. El control en bucle cerrado mantiene la temperatura exactamente donde es necesaria, de modo que cada lote tenga el mismo perfil térmico, turno tras turno.

DNS on Handcrafted Warm IR Heaters

Lámpara secadora de obleas DNS (Screen)