http://warm-ir-heater-craft.com/es/tags/cmp/ Recent content in CMP on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo es Sun, 21 Jun 2026 03:02:49 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/es/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Sun, 21 Jun 2026 03:02:49 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/es/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Calentador de secado de obleas después del CMP"></p> <p>En la etapa posterior al CMP, las marcas causadas por el agua y la deposición de partículas siguen afectando negativamente la calidad del producto terminado. Con frecuencia, el culpable es un perfil térmico inestable durante el proceso de secado. Por eso, hemos diseñado un calentador para el secado de obleas después del CMP, con el objetivo de eliminar esa variable negativa, en lugar de añadir más problemas.</p> <p><strong>Lo que realmente importa desde el punto de vista técnico</strong> Utilizamos elementos infrarrojos de onda corta detrás de una ventana de cuarzo, de modo que la energía llegue directamente a la oblea y rápidamente, sin sobrepasar su superficie. En toda la zona activa, logramos mantener una uniformidad de temperatura de ±0.1°C. Además, la repetibilidad es alta, ya que un sistema de control en bucle cerrado monitoriza en tiempo real la temperatura real frente al valor establecido. Este dispositivo puede utilizarse en salas limpias de clase 1-100. Los materiales y sellos utilizados permiten mantener la generación de partículas en cero una vez que se alcanza el estado estacionario.</p>