Trocknen on Handcrafted Warm IR Heaters

Heizer zum Trocknen von MEMS Sensor Wafern

Fri, 10 Jul 2026 02:12:43 +0800

Verzicht auf Heißluft zugunsten von Infrarotheizung bei der Trocknung von MEMS-Wafern
Lange Zeit war die gängige Methode zur Trocknung von MEMS-Sensorwafern einfach das Aufblähen von Heißluft darüber. Das ist eine altmodische Methode – man setzt dabei auf Konvektion, um Wärme über die Oberfläche zu bringen, in der Hoffnung, dass dadurch die Feuchtigkeit verdampft.

Das Problem? Der Prozess ist äußerst langsam. Man muss Minuten lang warten, bis die Luft wirklich in die engen Strukturen der MEMS-Wafern vordringt. Das ist ein echter Engpass, der die Effizienz stark beeinträchtigt.

Großhandels Lampe zum Trocknen von Wafern

Mon, 06 Jul 2026 04:35:09 +0800

Warum die richtige IR-Lampe Ihre Produktivität auf der Montagelinie effektiv steigert
Wir produzieren Wärmelampen für einen einzigen Zweck: die Massenmontage- und Testanlagen. Einfach und klar.
Der Sinn dahinter ist es, Ihnen zu helfen, mehr Produkte herzustellen – ohne dabei die Betriebskosten in die Höhe zu treiben.
Und wenn wir von „Fertigungsklasse“ sprechen, meinen wir damit nicht nur leere Begriffe. Wir meinen vielmehr Reproduzierbarkeit – etwas, worauf man sich verlassen kann, wenn die Produktionslinie ständig in Betrieb ist.

Heizer zum Trocknen der CMP Wafer nach der Bearbeitung

Sun, 21 Jun 2026 03:02:49 +0800

Bei der Trocknung nach dem CMP-Prozess führen Wasserzeichen sowie die erneute Ablagerung von Partikeln weiterhin zu Produktionsverlusten. In den meisten Fällen liegt das Problem in einem instabilen thermischen Profil während des Trocknungsprozesses. Wir haben unseren Heizer für das Trocknen der Wafer nach dem CMP so konzipiert, dass diese Unregelmäßigkeiten beseitigt werden – anstatt sie noch zu verstärken.

Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwell-Infrarotelemente hinter einer Quarzscheibe. Dadurch trifft die Energie direkt und schnell auf das Wafer – ohne dass sie den Untergrund überschreitet. In der aktiven Zone halten wir eine Homogenität der Temperatur auf einem Niveau von ±0,1 °C auf. Die Wiederholgenauigkeit bleibt konstant, da eine kalibrierte Schließschleifensteuerung die eingestellte Temperatur in Echtzeit überwacht. Der Heizer eignet sich für Reinräume der Klasse 1–100. Die verwendeten Materialien und Dichtungen sorgen dafür, dass keine Partikel mehr entstehen, sobald ein stabiler Zustand erreicht ist.

Flexible Trockenlampe für Displays fab

Fri, 05 Jun 2026 01:52:16 +0800

Auf der flexiblen Displaylinie hängen die Erträge von der thermischen Steuerung ab. Ein Soft Bake, der um sogar 2°C abweicht, beeinträchtigt die CD-Einheitlichkeit. Ein Hard Bake, der zu heiß oder zu kalt läuft, macht das Resistprofil unberechenbar, und der Ätztransfer wird unregelmäßig. Die Trocknungslampe kann nicht nur eine Wärmequelle sein – sie muss sich wie ein richtiges Prozessinstrument verhalten.
Was unter der Haube wichtig ist: Wir haben die Trocknungslampe um NIR gebaut, mit Quarzoptik für schnelles, kontaktloses Heizen. Im beleuchteten Bereich hält die Wafer-Einheitlichkeit ±0,1°C, sodass jedes Soft Bake und Hard Bake dasselbe thermische Budget erhält. Sie ist für Reinraumklasse 1–100 konzipiert: geringe Ausgasung und null Partikelerzeugung bei kontinuierlichem Betrieb. Die Lampe kann 24/7 mit vorhersehbarem Output betrieben werden, und die Wiederholbarkeit bleibt von Charge zu Charge konstant.
Warum das in flexiblen Display-Fabs funktioniert: Substrate sind dünn und thermisch empfindlich. Die Lampe erhöht schnell die Temperatur, während sie die Kontrolle eng hält, sodass die Zykluszeit verkürzt wird, ohne den Stapel zu belasten. Die Photoresist-Profile bleiben stabil, was die Überlagerung innerhalb der Spezifikation hält und die Kontrolle der kritischen Dimensionen beim Ätzen konstant hält. Der Energieverbrauch sinkt, weil die Lampe nur den Zielbereich beheizt, und weniger Nachbearbeitungschargen bedeuten weniger Ausschuss.
Hier ist, was Sie beachten sollten. Die Lampe benötigt eine saubere, stabile Stromversorgung und ein angemessenes thermisches Management am Integrationspunkt. Sie ist mit den meisten Lithographie- und Beschichtungsanlagen kompatibel, aber Sie müssen die Montage-Schnittstelle und die Steuersignale während der Installation bestätigen. Planen Sie einen kurzen Inbetriebnahme-Lauf, um die Rezepte für Soft Bake und Hard Bake zu fixieren, und qualifizieren Sie dann das Prozessfenster, bevor Sie Volumen produzieren.