http://warm-ir-heater-craft.com/de/tags/python/ Recent content in ```Python on Handcrafted Warm IR Heaters Hugo de Sat, 27 Jun 2026 02:06:08 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/de/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sat, 27 Jun 2026 02:06:08 +0800 http://warm-ir-heater-craft.com/de/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://warm-ir-heater-craft.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Temperatursensor für Wafer Werkzeuge"></p> <p>In der Fertigungshalle kann bereits eine Abweichung von einem halben Grad in der Backtemperatur dazu führen, dass die kritischen Abmessungen um Nanometer verändert werden – und dadurch wird viel Material als Ausschuss weggegeben. Man kann die Ausbeute nicht durch Zufall steuern. Stattdessen muss man die Temperaturregulierung strenger steuern, als es der Prozess selbst erfordert. Wir haben unseren Temperatursensor genau für diese Anforderungen entwickelt.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong><br> Wir fordern eine Stabilität von ±0,1 °C im gesamten Temperaturbereich, der bei der Verarbeitung von Fotolacken verwendet wird – schließlich liegen die Toleranzen bei der Lithografie innerhalb dieses Bereichs. Der Sensor wird in Wafernwerkzeuge integriert, die mit Reinräumen der Klasse 1–100 kompatibel sind. Zudem ist der Sensor so konstruiert, dass kein Schmutz entsteht – dadurch wird die gewünschte Reinheit beibehalten. Der Sensor arbeitet 24/7, und seine Lebensdauer ist so gestaltet, dass unplanmäßige Stillstände vermieden werden. Zudem liefert er Daten mit der nötigen Wiederholgenauigkeit für eine statistische Prozesskontrolle.</p>